河北工业大学张勇辉获国家专利权
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龙图腾网获悉河北工业大学申请的专利具有湿法刻蚀P电极的发光二极管的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119342949B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411545306.5,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权具有湿法刻蚀P电极的发光二极管的制备方法是由张勇辉;王林浩;张紫辉设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有湿法刻蚀P电极的发光二极管的制备方法在说明书摘要公布了:本发明为具有湿法刻蚀P电极的发光二极管的制备方法。该方法在倒装结构DUVLEDs制备方法上,采用湿法刻蚀技术对已经形成良好欧姆接触的NiAu进行处理,即生长Ni后再生长Au,得到NiAu后,将其进行退火处理,然后再针对厚Au进行Au的刻蚀,把本来Au和Ni形成的颗粒去掉一部分Au,这样颗粒之间的间隙增大了,并造成Au的减薄,会减少对光的吸收,更多的光子可以通过空隙被金属反射镜反射,增加了其透过率。本发明克服了现有技术上P电极不能同时兼顾良好的欧姆接触特性和高透过率的问题。
本发明授权具有湿法刻蚀P电极的发光二极管的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种具有湿法刻蚀P电极的发光二极管器件制备方法,其特征为该方法包括以下步骤: 第一步,外延片的生长: 首先在MOCVD反应炉中,将衬底在950℃~1350℃下进行烘烤,将衬底表面的异物进行清除,然后分别生长缓冲层、N-型半导体传输层、多量子阱层、P-型电子阻挡层、P-型半导体传输层; 第二步,干法刻蚀台阶: 在第一步得到的外延片上,采用光刻技术将光刻胶制作成台面形状并以此为掩膜,利用干法刻蚀技术刻蚀未覆盖光刻胶的部分,从而显露出N-型半导体传输层; 第三步,制作N-型欧姆电极: 在第二步得到的N-型半导体传输层上,通过光刻技术显露出N-型欧姆电极图案,利用蒸镀和剥离工艺制作N-型欧姆电极,然后热退火处理; 第四步,制作P-型欧姆电极: 在DUVLEDs外延片的P-型半导体传输层上,通过光刻技术显露出P-型欧姆电极图案,利用蒸镀和剥离工艺制作P-型欧姆电极,并在合适的气体氛围和温度下进行热退火处理; 第五步,湿法刻蚀P-型欧姆电极: 在第四步得到的P-型欧姆电极上,使用去离子水进行金属表面清洁,再旋涂一层光刻胶,利用光刻机将掩膜板上的P型欧姆电极的图案转移到外延片上,将除了P-型欧姆电极的部分保护起来,然后将外延片浸泡在Au刻蚀液中进行湿法刻蚀处理;刻蚀完毕后,将外延片取出进行清洗和干燥;其中,刻蚀时间为1~20分钟; 所述的Au刻蚀液的组成包括2~6wt%KI、2~6wt%I2以及1~5ppm的氯化物、1~6ppm的硫酸盐和1~6ppm的磷酸盐成分组成的硝化酸混合物; 所述的氯化物具体为氯化铜; 所述的硫酸盐具体为硫酸钙和硫酸铝; 所述的磷酸盐具体为磷酸钾和磷酸镍; 第六步,制作高反射电极: 在第五步得到的湿法刻蚀后的P-型欧姆电极上,通过光刻技术获得反射镜图案,利用蒸镀和剥离工艺沉积具有高反射率金属作为金属反射镜; 由此制得具有湿法刻蚀P电极的发光二极管器件。
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