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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利一种光刻照明系统的检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119376193B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411856447.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻照明系统的检测装置及方法是由张浩楠;金川;张凯瑞;刘俊伯;王建;胡松设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻照明系统的检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻照明系统的检测装置及方法，属于光刻照明检测技术领域，包括安装架、物镜、用于放置硅片的承载台以及用于放置掩模板安置架，安装架的内部设置有气泵，气泵的输出端通过气管与安置架的内腔连通，安置架的上方开设有吸附口，安装架的顶端固定安装有第二电机，第二电机的输出轴固定连接有转轴，转轴的底端固定安装有转动块，转动块上滑动安装有连接杆，连接杆上滑动安装有吸附块，吸附块设置有多个，吸附块的内部设置有吸附组件，用于吸附安置架上的掩模板，通过以上结构的配合使用，可以有效的减少更换掩模板的时间，以提高检测效率。

本发明授权一种光刻照明系统的检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻照明系统的检测装置，需要多次更换周期相同且相位不同的掩模板，其特征在于，包括安装架1、物镜2、用于放置硅片的承载台3以及用于放置掩模板安置架4； 所述安装架1呈上开口的矩形中空框架，在上开口的两个短边的其中一边设置有气泵29，所述气泵29的输出端通过气管与安置架4的内腔连通，所述安置架4的上表面开设有吸附口5； 所述安装架1的上开口的两个短边的另一边固定安装有第二电机30，所述第二电机30的输出轴固定连接有转轴7，所述转轴7的底端固定安装有转动块14，所述转动块14上滑动安装有连接杆8，所述连接杆8上滑动安装有吸附块10，所述连接杆8与吸附块10设置有多个，一个连接杆8与一个吸附块10为一组，多组呈环形整列在转动块14的外壁，多个吸附块10用于吸附多个掩模板； 所述吸附块10的内部设置有吸附组件，用于吸附安置架4上的掩模板； 所述吸附组件包括滑动板20、气筒22、活塞杆21以及吸盘23，所述滑动板20滑动安装在吸附块10的内部，所述气筒22中空设置，并固定安装在滑动板20上，所述活塞杆21的一端延伸出气筒22的外壁，并与吸附块10的内部固定连接，另一端与气筒22的内部滑动连接，所述吸盘23固定安装在气筒22的一端，所述吸盘23与气筒22的内腔连通； 所述吸附块10的顶端固定安装有第一电机18，所述第一电机18的输出轴固定安装有螺纹杆19，所述螺纹杆19的一端贯穿滑动板20，并与滑动板20通过螺纹连接。

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