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龙图腾网获悉盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利一种应用于HDP顶部花洒的调整结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119400679B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411555321.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种应用于HDP顶部花洒的调整结构是由潘铁壮;祁广杰;初春;李久龙;苏宇设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于HDP顶部花洒的调整结构在说明书摘要公布了：本发明提供一种应用于HDP顶部花洒的调整结构，其属于半导体设备技术领域，其包括机台、若干个侧喷嘴、顶部花洒和花洒升降装置，机台的表面开设有圆孔，机台的下表面固定连接有连接器，连接器的内壁与若干个侧喷嘴固定连通，顶部花洒位于机台的内部，花洒升降装置位于机台上，花洒升降装置包括连接腔体。本发明可以对顶部花洒的高度进行调整，使顶部花洒针对不同的工艺可以进行上下移动来改变反应气体分布；当针对不同气体流量工艺时可以通过调整顶部花洒位置进而找到与侧喷嘴最合适的匹配位置，以使得在晶圆表面气体反应更加均匀，最终优化晶圆厚度均匀性的目地，进而解决大流量气体工艺均匀性无法满足客户要求的难题。

本发明授权一种应用于HDP顶部花洒的调整结构在权利要求书中公布了：1.一种应用于HDP顶部花洒的调整结构，其包括机台1、若干个侧喷嘴8、顶部花洒7和花洒升降装置3，其特征在于：所述机台1的表面开设有圆孔6，所述机台1的下表面固定连接有连接器2，所述连接器2的内壁与若干个侧喷嘴8固定连通，所述顶部花洒7位于所述机台1的内部，所述花洒升降装置3位于所述机台1上，所述花洒升降装置3包括连接腔体301； 所述连接腔体301的下表面固定连接有安装管304；所述机台1的上表面设有花洒旋转装置4，花洒旋转装置4包括焊接板401，所述焊接板401的下表面与所述机台1的上表面固定连接，所述焊接板401的一侧固定连接有伺服电机402，所述伺服电机402的输出端固定连接有主动齿轮403，所述机台1的上表面转动连接有从动齿环404，所述从动齿环404与所述主动齿轮403相啮合，所述从动齿环404的上表面开设有两个定位孔405，定位孔405的内壁贴合有两个定位板409，两个定位板409彼此靠近的一侧均与安装管304的外壁固定连接。

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