西安电子科技大学;西安电子科技大学广州研究院刘志宏获国家专利权
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龙图腾网获悉西安电子科技大学;西安电子科技大学广州研究院申请的专利一种GaN垂直互补场效应晶体管及反相器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119421487B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411308343.4,技术领域涉及:H10D84/85;该发明授权一种GaN垂直互补场效应晶体管及反相器是由刘志宏;陈俊宇;张渠;李振元;周瑾;侯松岩;杜航海;邢伟川;张进成;郝跃设计研发完成,并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种GaN垂直互补场效应晶体管及反相器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种GaN垂直互补场效应晶体管VCFET及反相器,VCFET包括衬底、第一晶体管、第二晶体管和公共的栅电极,第一晶体管和第二晶体管依次垂直堆叠在衬底上;第一晶体管为n型晶体管,第二晶体管为p型晶体管,形成GaN缓冲层、n管GaN沟道层、AlGaN势垒层、p管GaN沟道层和p管GaN掺杂层的整体结构形式;通过公共的栅电极实现同时对n型沟道和p型沟道的控制。在此结构基础上,将p型晶体管的源电极接高电平,n型晶体管的源电极接低电平,将两个晶体管的漏电极连接在一起并同时作为输出端,以栅电极作为输入端,即可实现反相器。该VCFET实现了高效、低功耗的电子传输特性,在保持高性能的同时,具有更小的占地面积,提高了集成度。
本发明授权一种GaN垂直互补场效应晶体管及反相器在权利要求书中公布了:1.一种GaN垂直互补场效应晶体管,其特征在于,包括衬底10、第一晶体管、第二晶体管和公共的栅电极50,所述第一晶体管和第二晶体管依次垂直堆叠在衬底10上; 所述第一晶体管为n型晶体管,包括沿远离衬底10的方向依次布置的GaN缓冲层21、n管GaN沟道层22和公共的AlGaN势垒层30,其中GaN缓冲层21直接布置在衬底10上,在GaN沟道层22与AlGaN势垒层30之间的异质结界面,形成二维电子气,二维电子气区域作为n型沟道,即第一晶体管的导电沟道; 所述第二晶体管为p型晶体管,包括沿远离衬底10的方向依次布置的所述AlGaN势垒层30、p管GaN沟道层42和p管GaN掺杂层41,在所述p管GaN沟道层42与AlGaN势垒层30之间的异质结界面,空穴积累形成二维空穴气,二维空穴气区域将作为p型沟道,即第二晶体管的导电沟道; 所述n型沟道和p型沟道垂直堆叠;所述第一晶体管的第一源电极23和第一漏电极24布置于n管GaN沟道层22,所述第二晶体管的第二源电极43和第二漏电极44布置于p管GaN沟道层42,所述第一晶体管和第二晶体管共同使用所述栅电极50,实现同时对n型沟道和p型沟道的控制。
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