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龙图腾网获悉中原关键金属实验室;郑州大学申请的专利高功函数金属氧化物靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119430867B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411700165.X，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权高功函数金属氧化物靶材及其制备方法是由王之君;薛建设;孙本双;吴彬;刘苗;王成铎;陈杰;刘洋;曾学云;何季麟设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本高功函数金属氧化物靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了高功函数金属氧化物靶材及其制备方法。该制备方法包括：将高功函数金属氧化物粉体、氧化铟粉体、氧化锌粉体按设定质量比混合为混合粉体；将混合粉体设置在去离子水中，并加入分散剂，调制成浆料；将浆料进行高能砂磨，且在砂磨结束前加入粘结剂；将浆料喷雾造粒，得到球形造粒粉；将球形造粒粉模压成型、冷等静压，得到靶材素坯；将靶材素坯进行脱脂烧结一体化处理，得到高功函数金属氧化物靶材。本发明实施例公开的高功函数金属氧化物靶材，晶粒尺寸小，分布均匀，靶材密度高，电学性能优良，可用于制备柔性OLED阳极层薄膜材料，简化器件结构，降本增效。

本发明授权高功函数金属氧化物靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.高功函数金属氧化物靶材的制备方法，其特征在于，包括： 将高功函数金属氧化物粉体、氧化铟粉体、氧化锌粉体按设定质量比混合为混合粉体；其中，所述氧化锌粉体与所述氧化铟粉体的质量比为10～20：80～90；所述高功函数金属氧化物粉体的质量与所述氧化锌粉体和所述氧化铟粉体的总质量之比为2～10：90～98；所述高功函数金属氧化物粉体为MoO3、CoO、WO3或NiO； 将混合粉体设置在去离子水中，并加入分散剂，调制成浆料；其中，所述去离子水的质量为所述混合粉体总质量的60～90%，所述分散剂的质量为所述混合粉体总质量的0.5～1.5%，所述浆料的粘度为35～45mPa·s； 将浆料进行高能砂磨，且在砂磨结束前加入粘结剂；所述粘结剂的质量为所述混合粉体总质量的0.5～2%； 将浆料喷雾造粒，得到球形造粒粉； 将球形造粒粉模压成型、冷等静压，得到靶材素坯；其中，所述模压成型的压力为30～80MPa，所述冷等静压的压力为200～350MPa；所述靶材素坯的相对密度不低于60%； 将靶材素坯进行脱脂烧结一体化处理，得到高功函数金属氧化物靶材； 其中，所述脱脂烧结一体化处理具体包括： 将靶材素坯设置在脱脂烧结一体化炉中，升温到脱脂温度450～650℃，升温速率为0.5～1℃min，保温6～12h，脱脂气氛为空气，空气流量为3～12Lmin； 从脱脂温度升温到第一台阶温度900～1100℃，升温速率为0.5～3℃min，保温6～12h，烧结气氛为氧气，氧气流量为3～12Lmin； 从第一台阶温度升温至第二台阶温度1450～1550℃，升温速率为3～5℃min，不保温； 从第二台阶温度降温到第三台阶烧结温度1150～1400℃，降温速率为10～20℃min，保温12～36h； 从第三台阶温度降温到第四台阶温度600～800℃，降温速率为1～3℃min，保温3～6h，烧结气氛调整为空气，空气流量为3～12Lmin； 从第四台阶温度降温到200℃，降温速率为3～10℃min，然后自然冷却至室温。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中原关键金属实验室;郑州大学，其通讯地址为：450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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