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龙图腾网获悉苏州矽视科技有限公司申请的专利偏转探测系统、偏转探测方法以及扫描电子显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119446873B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411543025.6，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权偏转探测系统、偏转探测方法以及扫描电子显微镜是由赵焱设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本偏转探测系统、偏转探测方法以及扫描电子显微镜在说明书摘要公布了：本发明属于扫描电子探测成像领域，涉及偏转探测系统、偏转探测方法以及扫描电子显微镜，本发明的电子镜筒内设置维恩过滤器，维恩过滤器的采用交变的信号激励，产生相互垂直的偏转电场和偏转磁场，对下行的主电子束产生反向的电场力和磁场力，对上行的二次电子产生同向的电场力和磁场力而形成离轴的合力；维恩过滤器的交变的激励信号被配置为与偏转器的光栅扫描信号同步，且频率和相位维持特定的关系，使主电子束向行帧中心扫描时激励信号增强，而向行帧边缘扫描时激励信号减弱。本发明解决了光轴附近信号电子错过探测器的问题，且降低了对探测器的覆盖面要求，解决了采样频率和视场的矛盾，改善了图像信噪比，提高了成像速率或检测速率。

本发明授权偏转探测系统、偏转探测方法以及扫描电子显微镜在权利要求书中公布了：1.偏转探测系统，包含至少一组偏转器、至少一个维恩过滤器和至少一个探测器；所述偏转器上施加有交变的行扫描信号和帧扫描信号，实现主电子束在样品表面特定区域的光栅扫描；所述维恩过滤器包含一组电偏转器和一组磁偏转器，满足维恩过滤器设计要求，其上分别由交变的电压信号与电流信号激励，在垂直于光轴的截面上产生相互垂直的偏转电场和偏转磁场；激励维恩过滤器的交变的电压信号与电流信号同步且同相位，相互间的幅值比例和极性可调，且在设定的主电子束能量条件下，所产生的偏转电场和偏转磁场满足以下要求：对下行的主电子束产生互为反向的电场力和磁场力，而对上行的二次电子或和背散射电子产生同向的电场力和磁场力；其特征在于： 所述维恩过滤器的交变激励信号，还与所述偏转器的行扫描信号或帧扫描信号同步，且维持固定的相位关系；所述相位关系满足在主电子束趋近中心轴的扫描阶段，即在行扫描信号或帧扫描信号的减弱阶段，维恩过滤器的激励信号增强；在主电子束在背离中心轴的扫描阶段，即行扫描或帧扫描信号的增强阶段，维恩过滤器的激励信号减弱。

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