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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种卧式晶圆集中清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119673821B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411770709.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种卧式晶圆集中清洗设备是由甘志金;赵航;俞荣贵;姚飞宇设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种卧式晶圆集中清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种卧式晶圆集中清洗设备，涉及晶圆清洗技术领域，包括底座，所述底座的上端固定连接有竖架，所述竖架的侧壁上设有移动槽，所述移动槽的内部设有移动板，所述竖架的顶部安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端向下贯穿竖架并固定连接在移动板的上端，所述移动槽的内部竖直设有两个滑杆，所述滑杆贯穿移动板并与移动板滑动连接。本发明可将晶圆本体在多个清洗液内部依次完成清洗，清洗效率更高效，并且通过喷管带动喷嘴往复摆动，进而在清洗过程中避免杂质粘结，在对晶圆本体进行清洗的同时驱动晶圆本体转动，能够实现晶圆本体的充分清洗，同时有效对晶圆本体清洗，提高清洗效果。

本发明授权一种卧式晶圆集中清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种卧式晶圆集中清洗设备，包括底座1，其特征在于，所述底座1的上端固定连接有竖架2，所述竖架2的侧壁上设有移动槽3，所述移动槽3的内部设有移动板6，所述竖架2的顶部安装有电动伸缩杆7，所述电动伸缩杆7的伸缩端向下贯穿竖架2并固定连接在移动板6的上端，所述移动槽3的内部竖直设有两个滑杆4，所述滑杆4贯穿移动板6并与移动板6滑动连接，所述滑杆4的两端分别固定连接在移动槽3的内顶壁与内底壁上，所述移动板6的下端设有清洗组件，所述底座1的内部设有第一装置腔18，所述第一装置腔18的内底壁上转动连接有转柱14，所述转柱14的上端贯穿第一装置腔18的内顶壁并固定连接有转台13，所述转台13的上端固定有四个清洗盒12，四个所述清洗盒12沿转台13的上端周向等间距分布，所述第一装置腔18的内部设有与转柱14、移动板6连接的换向组件； 所述清洗组件包括固定连接在移动板6下端的安装板8，所述安装板8的下端设有摆动腔21、装置槽28，所述安装板8的下端固定有两个侧板34，两个所述侧板34分别位于摆动腔21的两侧，两个所述侧板34之间设有装料机构，所述摆动腔21的内部设有冲洗机构，所述装置槽28的内部设有与冲洗机构连接的驱动机构，位于装置槽28下方的侧板34内部设有第二装置腔35，所述第二装置腔35的内部设有与驱动机构、装料机构连接的联动机构； 通过移动板上移，带动晶圆本体移出清洗盒后，通过换向机构带动转柱转动，进而通过转柱带动转台转动；通过驱动机构带动冲洗机构的喷嘴往复摆动；驱动机构带动联动机构，通过联动机构驱动放置架内部的晶圆本体转动。

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