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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利晶圆对焦系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119717200B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411818604.7，技术领域涉及：G02B7/28；该发明授权晶圆对焦系统是由鹿楠;朱烨;王鹏;董海;李渭平设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆对焦系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆对焦系统，包括：追焦传感器、对焦控制器、光电采集板、精调电机和电机控制器；对焦控制器用于从追焦传感器获取目标晶圆的离焦高度模拟信号以生成并输出预测合焦位置模拟信号至电机控制器；电机控制器用于基于预测合焦位置模拟信号控制精调电机运动以追焦，基于量测物镜运动位置向光电采集板发送物镜位置模拟信号；光电采集板用于在接收到物镜位置模拟信号时同步获取光束干涉模拟信号以生成并输出合焦数字信号至对焦控制器；对焦控制器还用于基于合焦数字信号生成并通过数字信号接口发送指示量测物镜合焦位置的指示信号至电机控制器，目标晶圆对准误差量测效率高，信号采集时间短，指示信号精确度高，适用性强。

本发明授权晶圆对焦系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对焦系统，其特征在于，包括：追焦传感器、对焦控制器、光电采集板、精调电机和电机控制器； 所述对焦控制器用于：从所述追焦传感器获取目标晶圆的离焦高度模拟信号，基于所述离焦高度模拟信号生成所述目标晶圆的预测合焦位置模拟信号，并向所述电机控制器发送所述预测合焦位置模拟信号； 所述电机控制器用于：基于所述预测合焦位置模拟信号控制所述精调电机驱动量测物镜运动以对所述目标晶圆进行追焦，基于所述量测物镜的运动位置向所述光电采集板发送物镜位置模拟信号； 所述光电采集板用于：在接收到所述物镜位置模拟信号时同步获取光束干涉模拟信号，所述光束干涉模拟信号用于指示所述量测物镜运动过程中在所述光电采集板发生光束干涉得到的光束强度，基于所述光束干涉模拟信号和所述物镜位置模拟信号生成合焦数字信号并向所述对焦控制器发送所述合焦数字信号； 所述对焦控制器还用于：基于所述合焦数字信号所指示的所述光束强度的强度峰值和所述量测物镜的运动位置生成指示所述量测物镜的合焦位置的指示信号，并向所述电机控制器发送所述指示信号，所述指示信号用于触发所述电机控制器控制所述精调电机驱动所述量测物镜运动至所述合焦位置以对所述目标晶圆进行对焦。

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