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扬州小天光子科技有限公司张卫星获国家专利权

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龙图腾网获悉扬州小天光子科技有限公司申请的专利一种即烧型氮化硅基板工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119751084B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411850181.7,技术领域涉及:C04B35/584;该发明授权一种即烧型氮化硅基板工艺是由张卫星;何竟宇;庞东琳;何洋洋设计研发完成,并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种即烧型氮化硅基板工艺在说明书摘要公布了:本发明涉及陶瓷材料技术领域,具体涉及一种即烧型氮化硅基板工艺,本发明通过α‑Si3N4氮化硅粉末和其他助剂以特定比例的混合、球磨、流延、排胶和烧结,制备得到了即烧型氮化硅基板,其中,排胶包括空气排胶和氮气排胶,能使得氮化硅基板中的有机物能够更好除去,达到更好的排胶效果;在高温烧结中,在排胶后的氮化硅基板下有两层垫板,分别为氮化硼垫板和氮化硅板,一方面能避免在高温烧结过程中由于粘连而导致的损坏和综合性能下降,且具有良好的导热能力,另一方面能有效隔绝氮化硼垫板产生的压痕问题,进而减少氮化硅基板产生暗裂纹,降低破裂率和综合性能,与现有技术相比,具有广泛的应用前景。

本发明授权一种即烧型氮化硅基板工艺在权利要求书中公布了:1.一种即烧型氮化硅基板工艺,其特征在于,包括以下步骤: 步骤A1.将α-Si3N4氮化硅粉末、烧结助剂、分散剂、消泡剂和有机溶剂添加至滚筒球磨罐1中,球磨18-20h,得到混合物A,再将有机溶剂、粘结剂、增塑剂添加至球磨罐2中,球磨10-12h,得到混合物B,再将混合物B倒入混合物A中,继续混合球磨40-42h,得到混合物C; 步骤A2.将混合物C倒入立式搅拌机中进行搅拌,过滤后,倒入脱泡罐中,进行脱泡处理,得到氮化硅浆料; 步骤A3.将氮化硅浆料导入流延机进行流延,得到氮化硅坯板; 步骤A4.将氮化硅坯板先置于空气环境中进行空气排胶,再于氮气氛围中进行氮气排胶,得到排胶后的氮化硅基板; 步骤A5.以厚度为3.5-4mm的氮化硼为第一层垫板,将厚度为0.5-0.6mm的氮化硅板放置于氮化硼垫板上作为第二层垫板,再将排胶后的氮化硅基板置于第二层垫板上,高温烧结,再以1℃min的降温速率将温度降到1600℃,冷却后即得即烧型氮化硅基板。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人扬州小天光子科技有限公司,其通讯地址为:225832 江苏省扬州市宝应县氾水镇通湖路10-3号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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