买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利一种多波长叠栅条纹阵列标记对准调平系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119758682B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411916418.7，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权一种多波长叠栅条纹阵列标记对准调平系统及方法是由周吉;张凯瑞;刘俊伯;金川;李昱阳;俞大杰设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多波长叠栅条纹阵列标记对准调平系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种多波长叠栅条纹阵列标记对准调平系统及方法，包括扫描运动台、掩模台、激光光源、耦合器、准直扩束器、掩模对准标记光栅、基片对准标记光栅、分光棱镜、相机。激光光源控制发出平行光源，通过耦合器进行光束耦合，再经过准直扩束器进行入射光斑大小的调节，然后垂直入射到掩模对准标记光栅发生衍射；通过掩模对准标记光栅的衍射光在基片对准标记光栅再次发生衍射与反射，经三次光栅调制后的各级次谐波发生莫尔干涉后被物镜接收，再由相机记录下莫尔干涉条纹；合束后的多波长光源通过将不同波段按权重比例叠加积分；通过对接受到的莫尔条纹图像进行预处理，在进行相位提取与解析，最终解算出对准偏移量。

本发明授权一种多波长叠栅条纹阵列标记对准调平系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种多波长叠栅条纹阵列标记对准调平系统，其特征在于：包括工件台、扫描运动台、对准调平检测系统、掩模版、基片、工件台，对准调平检测系统包括成像系统，其中成像系统包括分光棱镜，物镜镜组，CCD相机，对准调平检测系统还包含：掩模台、第一激光光源、第二激光光源、第三激光光源、第四激光光源，耦合器、准直扩束器；第一、第二、第三、第四掩模对准标记和第一、第二、第三、第四基片对准标记分别位于掩模版和基片上，扫描运动台在系统最上方，左右分别有两个对准调平检测系统，两者构造相同位置不同，成像系统通过螺钉固定在扫描运动台上，两个成像系统的位置以运动扫描台中轴线左右对称，四个激光光源以及耦合器和准直扩束器通过光纤连接在扫描运动台侧方入射到成像系统的分光棱镜中，在成像系统的分光棱镜下方是掩模台和工件台；其中基片置于工件台上表面，基片的上方掩模台上放置掩模版，激光光源经过耦合器与准直扩束器进入成像系统，经过分光棱镜入射掩模对准标记光栅与基片对准标记光栅发生衍射，其中反射光再次进入物镜镜组在CCD相机处成像，通过对CCD相机接受到的条纹图像进行相位提取和解析，从而推导出偏移量以实现对准位置偏差的补偿； 激光光源经过耦合器合为一束多波长并且各个波段具有不同权重的光源；所述准直扩束器用来控制光束平行度和束斑大小；所述基片和掩模对准标记光栅是使用石英玻璃材质做的四象限相位光栅；所述的物镜镜组是可调节放大物镜，用于接受三次衍射光束；所述的CCD相机用来记录三次衍射的衍射光束形成的图像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院光电技术研究所，其通讯地址为：610209 四川省成都市双流350信箱；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。