杭州富芯半导体有限公司熊俊剑获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利用于半导体工艺机台的检测系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119764211B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411707600.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于半导体工艺机台的检测系统和方法是由熊俊剑;颜元青;杨刘标设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体工艺机台的检测系统和方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种用于半导体工艺机台的检测系统和方法，具体涉及半导体制造技术领域，系统包括：信息获取模块，用于获取待检机台的信息表，信息表的各批信息基于加工顺序排序且基于统计周期按序分组，批信息的类别包括必检和非必检；信息清除模块，用于若信息表对应的任一半导体产品批完成随机抽检，从信息表中清除已检产品批的目标批信息对应的前序分组；检测控制模块，用于基于目标批信息在所属当前分组的组内排位和当前分组中后序批信息的类别，确定信息表对应的剩余产品批的检测策略，后序批信息为当前分组中排序位于目标批信息之后的批信息。本申请避免增加检测机台及人力成本，并对重点工艺机台进行精准的、高时效的监控。
本发明授权用于半导体工艺机台的检测系统和方法在权利要求书中公布了：1.用于半导体工艺机台的检测系统，其特征在于，所述系统包括： 信息获取模块，用于获取待检机台的信息表，所述信息表用于同步记录经所述待检机台加工的半导体产品批的批信息，所述信息表的各所述批信息基于加工顺序排序且基于统计周期按序分组，所述批信息的类别包括必检和非必检，必检类别的批信息指示所述半导体产品批为必检品，每一所述统计周期的分组包括至少一个必检类别的批信息； 信息清除模块，用于若所述信息表对应的任一半导体产品批完成随机抽检，从所述信息表中清除已检产品批的目标批信息对应的前序分组； 检测控制模块，用于基于所述目标批信息在所属当前分组的组内排位和所述当前分组中后序批信息的类别，确定所述信息表对应的剩余产品批的检测策略，所述后序批信息为所述当前分组中排序位于所述目标批信息之后的批信息。
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