武汉大学;武汉大学苏州研究院刘文娟获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉大学;武汉大学苏州研究院申请的专利一种组合梁麦克风获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119767227B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411779139.0,技术领域涉及:H04R17/02;该发明授权一种组合梁麦克风是由刘文娟;卢亮宇;杨超翔;赵焱;孙成亮设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种组合梁麦克风在说明书摘要公布了:本发明提出了一种组合梁麦克风,属于压电式麦克风领域,包括衬底上表面开设有圆形的凹槽且内部开设有空腔,空腔位于凹槽正下方;中心振膜设置在凹槽内并位于凹槽的圆心位置;过渡梁环绕中心振膜间隔设置并连接在中心振膜上,相邻过渡梁之间留有第一空隙;固支梁环绕中心振膜间隔设置,固支梁沿凹槽径向的两端分别连接在凹槽内壁及过渡梁上;悬臂梁设置在相邻固支梁之间并连接在过渡梁上,悬臂梁与凹槽内壁及固支梁之间留有第二空隙。本发明通过改变麦克风内梁的结构形式,增加固支梁数目和梁之间的组合形式,增大高应力集中区域面积,结合中心振膜、过渡梁、固支梁和悬臂梁的合理布局,使应力分布更均匀,提高振膜面积的有效利用率。
本发明授权一种组合梁麦克风在权利要求书中公布了:1.一种组合梁麦克风,其特征在于,包括: 衬底1,其上表面开设有圆形的凹槽101且内部开设有空腔102,所述空腔102位于凹槽101正下方; 中心振膜2,设置在所述凹槽101内并位于凹槽101的圆心位置; 若干过渡梁3,环绕所述中心振膜2间隔设置并连接在中心振膜2上,相邻所述过渡梁3之间留有第一空隙301; 若干固支梁4,环绕所述中心振膜2间隔设置,所述固支梁4沿所述凹槽101径向的两端分别连接在凹槽101内壁及过渡梁3上; 悬臂梁5,设置在相邻所述固支梁4之间并连接在过渡梁3上,所述悬臂梁5与凹槽101内壁及固支梁4之间留有第二空隙501; 所述中心振膜2、过渡梁3、固支梁4及悬臂梁5均有压电薄膜材料制成并组成压电层6,所述压电层6上表面及下表面分别敷设有顶电极61与底电极62并形成压电叠层结构; 所述衬底1包括器件层11及释放层12,所述器件层11上设置压电叠层结构,所述释放层12设置在器件层11下方并环绕空腔102设置; 所述过渡梁3、固支梁4及悬臂梁5的形状均为扇形,所述压电层6的半径为r1,所述中心振膜2与过渡梁3的半径之和为r2,所述中心振膜2的半径为r3,满足r2=r1×k1及r3=r2×k2,其中k1及k2为比例系数且取值范围为0~1,所述压电层6的电极区域输出量随着k1增大而增大,随着k2增大而减小;所述组合梁麦克风的器件特征频率随着k1增大而增大,随着k2增大而增大。
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