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龙图腾网获悉杭州芯纪源半导体设备有限公司申请的专利一种新型高速半导体陶瓷器件无损扫描检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119780657B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411983418.9，技术领域涉及：G01R31/265；该发明授权一种新型高速半导体陶瓷器件无损扫描检测设备是由吴春生;毛居全设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型高速半导体陶瓷器件无损扫描检测设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，且公开了一种新型高速半导体陶瓷器件无损扫描检测设备，包括Y向运动机构、Z向运动机构和X向运动机构，所述X向运动机构安装在Z向运动机构的正面，所述Y向运动机构安装在Z向运动机构的底部用于Z向运动机构的Z向运动；所述X向运动机构包括X向固定板，所述X向固定板正面的上下两侧均安装有两根X向直线导轨。该新型高速半导体陶瓷器件无损扫描检测设备，通过对检测扫描的X向和Y向运动采用高速高精度的直线电机进行驱动，大大减少了检测扫描的运动时间，提升运动速度，实现了对半导体陶瓷器件的高精度、高效率的无损扫描检测，最终减少对产品的检验时间，实现对大量产品进行高效检验的需求。

本发明授权一种新型高速半导体陶瓷器件无损扫描检测设备在权利要求书中公布了：1.一种新型高速半导体陶瓷器件无损扫描检测设备，包括Y向运动机构、Z向运动机构和X向运动机构，其特征在于： 所述X向运动机构安装在Z向运动机构的正面，所述Y向运动机构安装在Z向运动机构的底部用于Z向运动机构的Z向运动； 所述X向运动机构包括X向固定板11，所述X向固定板11正面的上下两侧均安装有两根X向直线导轨12，两根所述X向直线导轨12的上均滑动设置有X向滑块13，两个所述X向滑块13上均固定有同一个X向移动板14，所述X向移动板14中间的后侧固定有直线电机的动子15，所述X向移动板14的正面固定有探针安装板16，所述探针安装板16的正面固定连接有放大器安装座17，所述放大器安装座17上固定连接有脉冲发射接收器18，所述探针安装板16的正面安装有检测探头19，所述X向固定板11中间安装有直线电机的定子20； 所述Z向运动机构包括Z向安装板21，所述Z向安装板21的正面安装有两根Z向直线导轨22，每个所述Z向直线导轨22上分别滑动设置有两个Z向滑块23，所述Z向安装板21的正面安装有上下两个丝杆座24，两个所述丝杆座24之间安装有滚珠丝杆25，所述滚珠丝杆25的外侧设置有丝杆螺母26，所述丝杆螺母26的底部安装有丝杆螺母连接块27，所述滚珠丝杆25的顶部固定连接有第一同步轮28，所述Z向安装板21的背面安装有Z向伺服电机29，所述Z向伺服电机29的输出端固定连接有第二同步轮30； 所述第一同步轮28通过同步带31和Z向伺服电机29上的第二同步轮30连接，实现Z向伺服电机29转动驱动滚珠丝杆25，带动丝杆螺母26做Z向上下运动； 所述Y向运动机构包括台面32，所述台面32的顶部固定连接有两个安装座33，每个所述安装座33上均安装有Y向直线导轨34，每个所述Y向直线导轨34上均安装有Y向滑块35，所述Y向滑块35的顶部均固定连接有同一个滑块安装板36，所述滑块安装板36的顶部螺栓连接有两个辅助支撑板37。

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