华中科技大学洪葳获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种基于光强调制的电离真空度测量方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119880251B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510091578.0,技术领域涉及:G01L21/30;该发明授权一种基于光强调制的电离真空度测量方法和装置是由洪葳;张婧博;周润发;李泓钢;白彦峥;周泽兵设计研发完成,并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于光强调制的电离真空度测量方法和装置在说明书摘要公布了:本申请属于真空测量技术领域,具体公开了一种基于光强调制的电离真空度测量方法和装置。本申请通过调制器调制紫外光的光强,同时对测量到的离子电流信号进行滤波和解调处理,得到优化后离子电流信号,两者相结合,极大地提高了系统的信噪比,有效降低环境噪声对测量结果的干扰,显著提高电离真空计测量真空度的准确性与可靠性。此外,本申请能够根据不同的真空度测量场景需求,动态调整光强波动频率以获得合适的光电流,无论是低真空还是高真空环境,均可实现精准测量,拓宽了应用场景范围。
本发明授权一种基于光强调制的电离真空度测量方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种基于光强调制的电离真空度测量装置,其特征在于,包括: 半封闭腔体结构探头,其上设有供待测气体进入接口,腔内依次设有正对的光电发射极板、阳极板和离子收集极板,三者分别连接第一电势、第二电势和第三电势,且第二电势第一电势第三电势,以形成加速电场和收集电场; 紫外光源,用于发射紫外光,并照射光电发射极板,使其通过光电效应逸出电子; 调制器,用于调制发射紫外光的光强,使其呈余弦波形式波动; 处理单元,用于对离子收集极板上的离子电流进行带通滤波和解调,所述带通滤波的中心频率与调制余弦波的角频率相同,得到优化离子电流信号,综合优化离子电流信号和环境温度,计算电离真空度。
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