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龙图腾网获悉广东气派科技有限公司申请的专利一种适用于MEMS器件的贴膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119898023B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510082050.7，技术领域涉及：B29C63/00；该发明授权一种适用于MEMS器件的贴膜设备是由王金刚;刘欣;张芳琼;庞琳铃;杨甫;张怡;虞骐睿;梁永昌设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于MEMS器件的贴膜设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种适用于MEMS器件的贴膜设备，包括机架，以及设于机架上的输送机构、上料机构、定位机构、第一贴膜机构、撕膜机构、检测机构、第二贴膜机构，输送机构可输送承载有多个MEMS器件的承载板，上料机构可将承载板转移至输送通道中，定位机构可向上顶起输送通道中的承载板，第一贴膜机构将膜片贴附至MEMS器件上，撕膜机构将残余膜片撕掉，检测机构可检测MEMS器件上是否漏贴膜片体，第二贴膜机构可将单个膜片体贴附至漏贴的MEMS器件的上表面。本发明集成了上料、贴膜、撕膜、检测、补贴的自动化贴膜方式，提高MEMS器件的贴膜效率，并且可对MEMS器件进行补贴，杜绝漏贴问题。

本发明授权一种适用于MEMS器件的贴膜设备在权利要求书中公布了：1.一种适用于MEMS器件的贴膜设备，其特征在于，包括机架，以及设于机架上的输送机构、上料机构、定位机构、第一贴膜机构、撕膜机构、检测机构、第二贴膜机构； 所述输送机构具有输送通道，所述输送通道内设有输送带，所述输送带可输送承载有多个MEMS器件的承载板； 所述上料机构可将所述承载板转移至输送通道中，所述上料机构具有第一料槽、移料组件、推料组件，所述移料组件可将第一料槽中的料仓转移至输送通道的一侧，所述推料组件可将料仓中的承载板推入输送通道，所述第一料槽的上方设有第二料槽，所述第二料槽靠近移料组件的一侧敞开有供料仓进入的开口，所述移料组件可将料仓转移至第二料槽中，所述移料组件具有第二夹持组件和第四驱动模组，所述第二夹持组件可夹持料仓，所述第四驱动模组可驱动第二夹持组件运动，以使所述第二夹持组件夹持并移出第一料槽中的料仓； 所述定位机构具有沿承载板的输送方向依次设于输送通道中的第一定位升降座和第二定位升降座，所述第一定位升降座和第二定位升降座均可向上顶起输送通道中的承载板，并对被顶起的所述承载板进行定位； 所述第一贴膜机构具有膜片放卷组件、第一吸料头和驱动第一吸料头相对第一定位升降座运动的第一驱动模组，所述第一吸料头可吸取膜片放卷组件输出的膜片，所述第一吸料头可将膜片贴附至MEMS器件上，其中，所述膜片上的每个膜片体贴附在对应的MEMS器件的上表面； 所述撕膜机构具有第一夹持组件和驱动第一夹持组件运动的第二驱动模组，所述第一夹持组件可将残余膜片撕掉，以使所述残余膜片与贴在MEMS器件上的膜片体分离； 所述检测机构具有CCD相机，所述CCD相机可检测MEMS器件上是否漏贴膜片体； 所述第二贴膜机构具有第二吸料头和驱动第二吸料头相对第二定位升降座运动的第三驱动模组，所述第二吸料头可将单个膜片体贴附至漏贴的MEMS器件的上表面。

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