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东莞市夏阳新材料有限公司邹振峰获国家专利权

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龙图腾网获悉东莞市夏阳新材料有限公司申请的专利一种孔隙梯度分布多孔吸盘及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119912273B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510086595.5,技术领域涉及:C04B38/06;该发明授权一种孔隙梯度分布多孔吸盘及其制备方法是由邹振峰;李燚华;杨旭强;谢志鹏设计研发完成,并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种孔隙梯度分布多孔吸盘及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请涉及吸盘领域,公开了一种孔隙梯度分布多孔吸盘及其制备方法,制备方法包括配方粉料混合;粉体加胶造粒;干压预成型;二次冷等静压成型;排胶烧结;精加工得到最终产品。本发明制备的孔隙梯度分布多孔吸盘,具有孔隙梯度可控、使吸附效果达到最大化的优点,在同等负压条件下,材料孔隙率越高孔径越大所产生的吸附力也就越大,通过多种配方粉体分区域一体成型,由内圈向外圈逐渐调整配方中造孔剂含量以及低活性氧化铝粒径进而实现对烧结后坯体各区域的孔隙率孔径进行调控,可实现吸盘内外圈孔隙率在15‑50%、孔径在10‑100μm范围内进行阶梯式调控,避免了因边缘吸附力不够进而导致晶圆边缘容易变形的问题。

本发明授权一种孔隙梯度分布多孔吸盘及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种孔隙梯度分布多孔吸盘的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 1配方粉料混合 按质量比称取粒径D50为30μm的α相低活性氧化铝800g、D50为0.4μm高活性氧化铝粉体100g、二氧化硅100g,不加造孔剂,用99氧化铝球在转速80rmin按料球比1:2球磨混料18h,得到造粒所用配方粉料; 2粉体加胶造粒 在上述配方粉料中加入粉体质量的20%浓度为15wt%的PVA溶液,25℃下按料球比1:2球磨24h,其中8mm小球与25mm大球比例为1:1,室温下陈腐24h后经48℃湿度在90%的恒温恒湿箱中干燥6h,破碎得到成型粉料A; 按质量比称取粒径D50为30μm的α相低活性氧化铝800g、D50为0.4μm粒径高活性氧化铝粉体100g、二氧化硅100g,与D50为30μm造孔剂40g,按同样造粒步骤得到成型粉料B; 按质量比称取粒径D50为30μm的α相低活性氧化铝800g、D50为0.4μm粒径高活性氧化铝粉体100g、二氧化硅100g,与D50为30μm造孔剂80g,按同样造粒步骤得到成型粉料C; 按质量比称取粒径D50为30μm的α相低活性氧化铝800g、D50为0.4μm粒径高活性氧化铝粉体100g、二氧化硅100g,与D50为30μm造孔剂120g,按同样造粒步骤得到成型粉料D; 按质量比称取粒径D50为30μm的α相低活性氧化铝800g、D50为0.4μm粒径高活性氧化铝粉体100g、二氧化硅100g,与D50为30μm造孔剂160g,按同样造粒步骤得到成型粉料E; 3干压预成型: 利用干压模具将制备的成型粉料A-E用干压机模具分别干压成可配合的圆盘和圆环状生坯; 4二次冷等静压成型: 将干压预成型后的坯体转移到模具内进行拼装密封,然后用金属夹板固定上下两端面,将其放入冷等缸体中二次冷等成型制得生坯; 5排胶烧结: 采用的烧结工艺为排胶-烧结一体的方式,将坯料放入烧结炉中进行烧结,烧结温度在1500-1550℃,保温120-180min; 6精加工: 将烧结后的陶瓷生坯置于澄清58℃低温熔融石蜡中进行封孔,然后再经过后续加工脱蜡得到最终产品。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东莞市夏阳新材料有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市常平镇巷口路28号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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