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龙图腾网获悉长沙市熔材科技有限公司申请的专利一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119935046B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411870476.0，技术领域涉及：G01B21/08；该发明授权一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测方法是由吴宗;杜广;谭海洋;曾斌设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测方法，涉及热障涂层制备技术领域，包括以下步骤：将监测装置布置在真空腔体内部，选取合适材料的靶材；通过电子束物理气相沉积工艺制备热障涂层，获取工艺过程中的多种参数；通过计算机利用自定义函数公式计算热障涂层的厚度；得到计算值后，停止工艺过程，测量试样的实际厚度，与计算值进行对比分析。本发明与现有技术相比，能够在高真空、高温的电子束物理气相沉积工艺过程中通过获取靶材消耗质量，结合多种参数计算出工艺过程中热障涂层的厚度，提升了工艺和涂层质量的稳定性，同时避免出现多次返工和不良品的情况，降低了工艺成本，具有较好的实际应用前景。

本发明授权一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测方法在权利要求书中公布了：1.一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、将监测装置布置在真空腔体1内部，选取沉积工艺需要使用的靶材6； S2、通过电子束物理气相沉积工艺制备热障涂层，获取工艺过程中的多种参数； S3、通过计算机11设置线性回归模型，利用自定义函数公式和上述参数计算热障涂层的厚度； S4、得到计算值后，停止工艺过程，测量试样的实际厚度，与计算值进行对比分析； 采用上述步骤S1~S4的一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测方法的使用过程中还具体涉及到一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测设备，包括真空腔体1与计算机11，所述真空腔体1的内部设置有用于放置沉积工艺所需靶材6的坩埚7，所述坩埚7采用铜制水冷坩埚，所述坩埚7下端设有称重传感器8，所述称重传感器8通过数据线9与计算机11相连接，所述真空腔体1的顶部设有加热装置2，所述加热装置2的下方安装有工件旋转装置4，所述工件旋转装置4的一侧连接有用于夹持工件5的工件夹持装置3，所述真空腔体1的底部设置有真空装置12，所述真空装置12的上方设有电子束发射装置10； 所述步骤S3中的计算机11通过自定义函数公式计算热障涂层的厚度，具体包括以下步骤： S31、自定义函数fx，变量x采用电子束工艺参数的综合计算值即功率*时间； S32、通过INTERCEPT函数建立线性回归模型，模型公式为y=INTERCEPT+B1*x+B2*x^2+B3*x^3，所述B1、B2、B3均为拟合系数； S33、通过对比实际靶材6与标准靶材的物化性能，所述物化性能包括化学成分、靶材密度、尺寸、孔隙率，根据上述数值确定靶材系数a； S34、根据电子束工艺参数中的功率数值，确定功率系数b； S35、计算函数fx=y*a*b； S36、根据工件类型、沉积温度数值，确定沉积系数c； S37、通过称重传感器8获取靶材消耗质量z，通过数据线9将上述数据传输至计算机11； S38、计算h=[zfx]*c，得到涂层计算厚度。

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