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龙图腾网获悉东莞市诺丽半导体技术有限公司申请的专利一种用于传输过程的晶圆预对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120127043B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510300443.0，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种用于传输过程的晶圆预对准方法是由朱晓东;肖书轶;钟祺设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于传输过程的晶圆预对准方法在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆预对准技术领域，其公开了一种用于传输过程的晶圆预对准方法，其通过控制线激光传感器扫描旋转平台上的晶圆边缘，获取晶圆边缘二维坐标点的连续数据集，并对其进行滤波和异常点剔除，生成离散数据集。基于最小二乘法对离散数据集进行圆拟合，精确计算晶圆圆心坐标；同时，利用傅里叶变换提取切边特征，并通过傅里叶逆变换确定切边角度。这样，显著提升了预对准的速度和准确性。该方法特别适用于半导体制造中的高精度要求场景，为后续加工步骤提供了可靠的定位基础。

本发明授权一种用于传输过程的晶圆预对准方法在权利要求书中公布了：1.一种用于传输过程的晶圆预对准方法，其特征在于，包括： 控制线激光传感器扫描旋转平台上的晶圆的晶圆边缘以得到晶圆边缘二维坐标点的连续数据集； 对所述晶圆边缘二维坐标点的连续数据集进行预处理以得到晶圆边缘二维坐标点的离散数据集，包括：对所述晶圆边缘二维坐标点的连续数据集进行数据滤波以得到晶圆边缘二维坐标点的滤波数据集，其中，所述数据滤波，包括：确定所述晶圆边缘二维坐标点的连续数据集中各个数据点的邻域窗口；基于所述各个数据点的邻域窗口内的所有数据点的样本分布，对所述各个数据点的晶圆边缘二维坐标进行更新；引入基于邻域的圆切向拟合机制对所述更新后的晶圆边缘二维坐标点进行优化； 基于最小二乘法对所述晶圆边缘二维坐标点的离散数据集进行圆拟合以得到晶圆圆心坐标； 基于傅里叶变换和傅里叶逆变换对所述晶圆边缘二维坐标点的离散数据集进行处理以得到切边角度； 其中，引入基于邻域的圆切向拟合机制对所述更新后的晶圆边缘二维坐标点进行优化，包括： 针对通过邻域窗口加权得到的每对坐标和，首先令： 来获得与每个坐标对应的切向圆拟合参数对； 基于切向圆拟合参数对，通过邻域窗口内的数据分布来对进行优化： 其中，和是用于优化微调谐的缩放系数，为优化后的晶圆边缘二维坐标点。

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