无锡卓海科技股份有限公司陈烨伟获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种晶圆的缺陷检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120160984B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510438634.3，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种晶圆的缺陷检测装置及方法是由陈烨伟;相宇阳;俞胜武设计研发完成，并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的缺陷检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆的缺陷检测装置及方法，包括：检测模块、处理模块和图像重建模块；检测模块包括：激光发射单元、透射镜组、光声转换单元和声电转换单元；激光发射单元将脉冲检测激光发射至待测晶圆的表面，脉冲检测激光经过待测晶圆后生成带有缺陷特征信息的光信号，光声转换单元将光信号转换成声信号；声电转换单元将声信号转换为电信号；处理模块根据电信号提取待测晶圆的缺陷特征信息；图像重建模块根据缺陷特征信息确定待测晶圆的缺陷。本发明提供的缺陷检测装置通过光声转换单元和声电转换单元相互配合使得待测晶圆散射后的光信号转换为电信号，从而对待测晶圆的缺陷进行分析处理，从而能够高效、准确地检测待测晶圆表面的缺陷。
本发明授权一种晶圆的缺陷检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的缺陷检测装置，其特征在于，包括：检测模块、处理模块和图像重建模块； 所述检测模块包括：激光发射单元、透射镜组、光声转换单元和声电转换单元； 所述激光发射单元将脉冲检测激光发射至所述透射镜组，所述脉冲检测激光经过所述透射镜组会聚后发射至待测晶圆的表面，所述脉冲检测激光经过所述待测晶圆后生成带有缺陷特征信息的光信号，并入射至所述光声转换单元； 所述光声转换单元与所述声电转换单元电连接，所述光声转换单元将所述光信号转换成声信号后传输至所述声电转换单元； 所述声电转换单元与所述处理模块电连接，所述声电转换单元将所述声信号转换为电信号并传输至所述处理模块； 所述处理模块与所述图像重建模块电连接，所述处理模块根据所述电信号提取所述待测晶圆的缺陷特征信息并传输至所述图像重建模块； 所述图像重建模块根据所述缺陷特征信息确定所述待测晶圆的表面形貌图像、缺陷位置和尺寸。
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