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龙图腾网获悉泰州华拓电子科技有限公司申请的专利一种基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120174360B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510660258.2，技术领域涉及：C23C18/40；该发明授权一种基板处理装置是由王天华;张彪;王龙设计研发完成，并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及电子制造技术领域，且公开了一种基板处理装置，包括沉铜槽，所述沉铜槽的一侧贯穿连接有传导装置和传动装置，传动装置的一侧传动连接有水流监测装置，传动装置的一侧传动连接有自动喷口装置，所述水流监测装置包括流速风扇，所述流速风扇的内部活动安装有扇叶传动杆，所述扇叶传动杆的外侧开设有伸缩槽，所述伸缩槽的内部固定连接伸缩弹簧，通过设有水流监测装置，监测沉铜槽内溶液流速并反馈至传动装置，逐个开关自动喷口装置，实现对溶液流速的控制，通过设有传导装置，将沉积在沉铜槽底的溶液、杂质吸入过滤仓，有利于铜层均匀分布，通过设有自动喷口装置，对沉铜槽内溶液进行搅动，实现对溶液流速的控制。

本发明授权一种基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括沉铜槽1，其特征在于：所述沉铜槽1的一侧贯穿连接有传导装置2和传动装置3，所述传动装置3的一侧传动连接有水流监测装置4，所述传动装置3的一侧传动连接有自动喷口装置5； 所述水流监测装置4包括流速风扇403，所述流速风扇403的内侧固定连接单向传动扣406，所述流速风扇403的内部活动安装有扇叶传动杆404，所述扇叶传动杆404的外侧开设有伸缩槽407，所述伸缩槽407的内部固定连接伸缩弹簧408，所述伸缩弹簧408的顶部活动连接伸缩扣405； 所述沉铜槽1包括沉铜槽体101，沉铜槽体101的一侧开设有喷嘴口传动孔102，沉铜槽体101的一侧开设有滑动槽103，沉铜槽体101的一侧开设有扇叶传动孔104，沉铜槽体101的底部开设有导流管槽105； 所述导流管槽105内部固定安装有导流管201，所述导流管201的一端固定连接有压力泵202，所述压力泵202的顶部固定连接有输出管203，所述输出管203的两侧固定连接有输出支管204，所述输出支管204的顶部固定连接有过滤仓205，所述过滤仓205的一侧开设有过滤仓输出孔206； 所述传动装置3包括螺纹管301，所述螺纹管301的外侧活动连接有空心伸缩杆303，所述空心伸缩杆303的一端固定连接有空心传动齿轮302，空心传动齿轮302的顶部传动连接有传动齿条304，传动齿条304的底部固定连接有限位板305，传动齿条304的顶部传动连接有传动齿轮306，传动齿轮306的一侧固定连接有扇叶传动杆404。

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