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长园半导体设备(珠海)有限公司陈有亮获国家专利权

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龙图腾网获悉长园半导体设备(珠海)有限公司申请的专利TCB工艺的Z轴移载平台、位移装置及其键合设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120199707B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510437466.6,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权TCB工艺的Z轴移载平台、位移装置及其键合设备是由陈有亮;彭博;陈程;邓章;赖俊魁;廖广兰;宿磊设计研发完成,并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。

TCB工艺的Z轴移载平台、位移装置及其键合设备在说明书摘要公布了:本发明提供了TCB工艺的Z轴移载平台,Z轴移载装置包括:第一传动块,包括第一斜面,第一斜面的上侧设置有多个第一固定块;第二传动块,第二传动块位于第一传动块的上侧,第二传动块包括第二斜面,第二斜面的下侧设置有至少一个第一导轨,第一导轨滑动连接于第一固定块;电机,连接于第一传动块,电机用于驱动第一传动块沿X轴方向移动。根据本实施例的技术方案,利用第一斜面与第二斜面之间的滑动连接,驱动第一传动块沿X轴方向移动时,第一固定块沿固定于第二斜面的第一导轨移动,驱动第二传动块移动,第二传动块在Z轴方向上的位移量必然小于第一传动块在X轴方向上的位移量,从而提高Z轴移载平台在Z轴方向上的位移精度。

本发明授权TCB工艺的Z轴移载平台、位移装置及其键合设备在权利要求书中公布了:1.一种TCB工艺的Z轴移载平台,其特征在于,包括: 第一传动块,所述第一传动块包括第一斜面,所述第一斜面的上侧设置有多个第一固定块; 第二传动块,所述第二传动块位于所述第一传动块的上侧,所述第二传动块包括第二斜面,所述第二斜面的下侧设置有至少一个第一导轨,所述第一导轨滑动连接于所述第一固定块; 电机,所述电机连接于所述第一传动块,所述电机用于驱动所述第一传动块沿X轴方向移动; 垂直安装板,所述垂直安装板的前表面设置有第二导轨,所述第二导轨沿Z轴方向设置,所述第二传动块安装于所述第二导轨,所述第二传动块能够滑动于所述第二导轨; 水平安装板,所述水平安装板垂直固定于所述垂直安装板的上侧,所述水平安装板的上侧设置有第三导轨,所述第三导轨沿X轴方向设置,所述第一传动块安装于所述第三导轨,所述第一传动块能够沿所述第三导轨滑动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长园半导体设备(珠海)有限公司,其通讯地址为:519000 广东省珠海市高新区科技八路5号3栋(研发楼)5楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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