江苏富乐华功率半导体研究院有限公司;江苏富乐华半导体科技股份有限公司王斌获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏富乐华功率半导体研究院有限公司;江苏富乐华半导体科技股份有限公司申请的专利一种基于AMB工艺的双层陶瓷基板的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120261296B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510424518.6,技术领域涉及:H01L21/48;该发明授权一种基于AMB工艺的双层陶瓷基板的制备方法是由王斌;唐冬梅;管鹏飞设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于AMB工艺的双层陶瓷基板的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于AMB工艺的双层陶瓷基板的制备方法,涉及半导体技术领域;具体步骤包括:对陶瓷层进行微孔加工得到定位孔和导通孔后,清洗陶瓷层并去除孔边缘熔渣进行单面沉积金属层,沉积完成后进行丝网印刷填孔,填孔完成后烘干,在两片烘干后的陶瓷层之间放置金属箔,使金属箔的两侧均与两片陶瓷层上单面沉积的金属层接触,并利用定位孔进行对位装叠,通过真空钎焊形成一体化结构,得到双面陶瓷基板。其中金属层的成分为钛、锆、钨、铜、镍、银中的一种或多种组合;金属箔为压延得到的钨箔、钼箔、钨钼箔中的一种;填孔的浆料包括不熔金属粉、熔融金属粉以及有机载体。
本发明授权一种基于AMB工艺的双层陶瓷基板的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于AMB工艺的双层陶瓷基板的制备方法,其特征在于,具体包括以下制备步骤: 步骤1:对陶瓷层进行微孔加工得到定位孔和导通孔后,清洗陶瓷层并去除孔边缘熔渣后,进行单面沉积金属层; 步骤2:对沉积完成后的陶瓷层进行丝网印刷填孔,填孔完成后烘干; 步骤3:取两片烘干后的陶瓷层,在两片陶瓷层之间放置金属箔,使金属箔的两侧均与两片陶瓷层上单面沉积的金属层接触,利用定位孔进行对位装叠; 步骤4:对装叠好的双层陶瓷基板进行高温烧结,通过真空钎焊形成一体化结构,得到双面陶瓷基板; 导通孔和定位孔通过激光加工得到,其中定位孔的孔径为0.8-1.2mm,导通孔的孔径为0.08-0.13mm;丝网印刷填孔的浆料为钨浆、钼浆、钨钼浆、钨铜浆、钼铜浆、钨钼铜浆中的一种; 浆料按照质量百分数包括:85-90%金属粉和10-15%有机载体;金属粉按照质量百分数包括70-95%不熔金属粉和5-30%熔融金属粉,不熔金属粉为钨粉、钼粉、钨钼粉中的一种;熔融金属粉为铜粉、银粉、镍粉中的一种或多种组合;有机载体包括65-82%松油醇、5-15%乙基纤维素、2-4%丙烯酸树脂、2-4%氢化蓖麻油、2-6%硅烷偶联剂、2-5%柠檬酸三丁酯和0.5-1.5%分散剂。
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