恩纳基智能装备(无锡)股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉恩纳基智能装备(无锡)股份有限公司申请的专利基于电磁离合器的晶圆扩晶装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120300061B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510517713.3，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权基于电磁离合器的晶圆扩晶装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于电磁离合器的晶圆扩晶装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基于电磁离合器的晶圆扩晶装置，包括驱动模块和旋转模块，以及驱动旋转模块升降的升降模块；驱动模块包括设于旋转模块上的电磁离合器一和设于升降模块上的电磁离合器二，以及连接电磁离合器一与电磁离合器二的旋转轴，旋转轴能转动；电磁离合器一用于控制升降模块动力连接旋转轴，电磁离合器二用于驱动旋转模块与旋转轴动力连接。本申请通过电磁离合器一与电磁离合器二分别或同步与旋转轴动力连接，仅需单个驱动旋转轴，进而实现单独或同步驱动所述旋转模块和升降模块工作，能降低设备制造成本及整体体积。
本发明授权基于电磁离合器的晶圆扩晶装置在权利要求书中公布了：1.基于电磁离合器的晶圆扩晶装置，其特征在于：包括驱动模块和旋转模块，以及驱动所述旋转模块升降的升降模块； 所述驱动模块包括设于所述升降模块上的电磁离合器一和设于所述旋转模块上的电磁离合器二，以及连接所述电磁离合器一与所述电磁离合器二的旋转轴，所述旋转轴能转动； 所述电磁离合器一用于控制所述升降模块动力连接所述旋转轴，所述电磁离合器二用于驱动所述旋转模块与所述旋转轴动力连接； 所述电磁离合器一和所述电磁离合器二均包括电磁组件和跟随所述旋转轴旋转的旋转体，以及分别与所述旋转模块和所述升降模块连接的可动组件； 所述电磁组件用于控制所述可动组件与所述旋转体动力连接； 还包括驱动单元，所述驱动单元用于驱动所述旋转轴转动；所述旋转轴、所述电磁离合器一和所述电磁离合器二和所述驱动单元同轴设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人恩纳基智能装备(无锡)股份有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市梁溪区金山北科技产业园C1-8；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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