滁州华瑞微电子科技有限公司胡兴正获国家专利权
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龙图腾网获悉滁州华瑞微电子科技有限公司申请的专利一种涂胶显影机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120353098B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510821011.4，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权一种涂胶显影机是由胡兴正设计研发完成，并于2025-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工设备加工技术领域，具体为一种涂胶显影机，包括搬运机械臂，用于对晶圆进行运送；盛具，用于对光刻胶进行盛放，还包括开合机构，其设置于盛具的顶部，可对盛具顶部的开放状态进行控制；所述开合机构包括滑动设置于盛具顶端的开合部件以及活动套装于盛具外部的传动套环。本发明当搬运机械臂带动晶圆穿过传动套环向盛具中移动时，可挤压传动套环向下移动，进而带动开合部件向盛具周侧张开，将盛具顶端开放，以实现晶圆对光刻胶的蘸取；当晶圆完成蘸胶以及离心涂布后，搬运机械臂带动晶圆脱离盛具，开合部件可复位将盛具重新闭合，保证盛具非工作状态下处于封闭状态，从而避免光刻胶中溶剂挥发对涂布质量造成影响。
本发明授权一种涂胶显影机在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影机，包括搬运机械臂2，用于对晶圆7进行运送；盛具4，用于对光刻胶进行盛放，其特征在于，还包括开合机构5，其设置于盛具4的顶部，可对盛具4顶部的开放状态进行控制； 所述开合机构5包括滑动设置于盛具4顶端的开合部件51以及活动套装于盛具4外部的传动套环52，所述传动套环52与开合部件51为传动连接； 所述搬运机械臂2带动晶圆7穿过传动套环52中部向盛具4内部移动时，可挤压传动套环52下移，传动套环52在下移过程中可推动开合部件51向盛具4外侧移动，将盛具4顶端开放；搬运机械臂2带动晶圆7脱离晶圆7时，开合部件51可复位将盛具4顶端重新闭合； 所述盛具4上设置有鼓吹机构6，其与传动套环52为传动连接，传动套环52下移时可驱动鼓吹机构6动作，对盛具4内部中心区域的光刻胶进行鼓吹以形成向上凸起的鼓吹部66。
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