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龙图腾网获悉山东科芯电子有限公司申请的专利一种硅片钝化前液态源扩散装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120502472B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510701072.7，技术领域涉及：B05C13/02；该发明授权一种硅片钝化前液态源扩散装置及方法是由李充;吕明设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片钝化前液态源扩散装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅片钝化前液态源扩散装置及方法，属于硅片加工技术领域。该种硅片钝化前液态源扩散装置及方法，包括涂覆机构，涂覆机构包括箱体，箱体的上端一侧固定安装有涂覆筒，涂覆筒的内部底端固定安装有气滑环，气滑环的旋转端套设有第一负压吸盘，涂覆筒的一侧固定安装有原料桶，箱体的上端面位于原料桶的一侧固定安装有第一伺服电机，第一伺服电机的输出端套装有第一气动伸缩杆，第一气动伸缩杆的上端固定安装有连接杆，连接杆的底侧通过螺栓安装有支撑杆，支撑杆的一侧转动连接有卡箍，卡箍的内部插设有涂覆棒，箱体的上端面位于涂覆筒的一侧固定安装有输送机，本发明，能有效提高液态源扩散装置的实用性，具有较高的实用价值。

本发明授权一种硅片钝化前液态源扩散装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片钝化前液态源扩散装置，其特征在于，包括涂覆机构2、烘干机构3、输送机构4和存料机构7，所述涂覆机构2包括箱体201，所述箱体201的上端一侧固定安装有涂覆筒202，所述涂覆筒202的内部底端固定安装有气滑环212，所述气滑环212的旋转端套设有第一负压吸盘205，所述涂覆筒202的一侧固定安装有原料桶206，所述箱体201的上端面位于原料桶206的一侧固定安装有第一伺服电机204，所述第一伺服电机204的输出端套装有第一气动伸缩杆214，所述第一气动伸缩杆214的上端固定安装有连接杆207，所述连接杆207的底侧通过螺栓安装有支撑杆208，所述支撑杆208的一侧转动连接有卡箍209，所述卡箍209的内部插设有涂覆棒210，所述箱体201的上端面位于涂覆筒202的一侧固定安装有输送机203； 所述涂覆筒202的内部底端固定安装有第二伺服电机213，所述第二伺服电机213的输出端与气滑环212的旋转端传动连接，所述气滑环212的输出端通过管道与第一负压吸盘205的输入端连接，所述支撑杆208的一侧固定安装有第三伺服电机211，所述第三伺服电机211的输出端与卡箍209传动连接； 所述烘干机构3包括烘干箱301，所述烘干箱301设置于涂覆筒202的一侧，所述烘干箱301的两端均设有提升座303，所述提升座303的底端与箱体201的上端面连接，所述提升座303的上端两侧均嵌设安装有第二气动伸缩杆305，每对所述第二气动伸缩杆305上端之间均固定安装有连接板304； 所述输送机构4包括第二直线电机401、第三直线电机402、第四直线电机403和第五直线电机404，所述第三直线电机402设置于涂覆筒202的一侧，所述第三直线电机402的移动端安装有第六直线电机406，所述第六直线电机406的移动端安装有第一提升架407，所述第二直线电机401设置于第三直线电机402的一侧，所述第二直线电机401移动端安装有固定杆409，所述固定杆409的底端安装有第二负压吸盘410； 所述存料机构7包括一对底架701，一对所述底架701分别设置于箱体201的上端面两侧，所述底架701的上端固定安装有若干限位杆702，若干所述限位杆702之间滑动插设有推板703，所述底架701的中心处均插设有第三气动伸缩杆704，所述第三气动伸缩杆704的底端贯穿箱体201延伸至内部，所述第三气动伸缩杆704的顶端均与推板703的底端连接。

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