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龙图腾网获悉广州中科飞测科技有限公司申请的专利晶圆崩边检测方法、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120525811B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510527295.6，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权晶圆崩边检测方法、设备及存储介质是由杜爽;张龙;黄有为;陈鲁设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆崩边检测方法、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆崩边检测方法、设备及存储介质，其中方法包括：获取待测晶圆的边缘的全部边缘图像；分别对每张边缘图像中晶圆边缘对应的边缘像素点进行提取，并基于边缘像素点的分布特征确认异常边缘并统计个数；利用边缘像素点的位置确认坐标变化程度超过阈值的像素点，将其作为离群像素点并统计个数；结合异常边缘个数和离群像素点个数分析每张边缘图像中存在异常的晶圆边缘区域占总晶圆边缘区域的比重；当比重超过预设比重阈值时，确认对应的边缘图像存在崩边。本发明通过对待测晶圆的边缘图像进行遍历，初步确认正常边缘和异常边缘，再结合边缘像素点的梯度特征进行精确分析，从而精准、快速地判定待测晶圆是否崩边。

本发明授权晶圆崩边检测方法、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆崩边检测方法，其特征在于，其包括： 获取待测晶圆的边缘的全部边缘图像； 分别对每张边缘图像中晶圆边缘对应的边缘像素点进行提取，并基于边缘像素点的分布特征区分正常边缘和异常边缘，并统计异常边缘个数； 利用边缘像素点的位置计算梯度特征，并基于所述梯度特征分析像素坐标变化程度，将坐标变化程度达到阈值的边缘像素点标记为离群像素点，并统计离群像素点个数； 结合所述异常边缘个数和所述离群像素点个数分析每张边缘图像中存在异常的晶圆边缘区域占总晶圆边缘区域的比重； 当所述比重超过预设比重阈值时，确认对应的边缘图像存在崩边； 所述分别对每张边缘图像中晶圆边缘对应的边缘像素点进行提取，并基于边缘像素点的分布特征区分正常边缘和异常边缘，并统计异常边缘个数，包括： 对所述边缘图像进行阈值分割，并对分割后的边缘图像的每个像素进行遍历，确认边缘像素点和边缘像素点的位置； 基于所述边缘像素点的位置将每个边缘像素点划分为正常像素点或异常像素点； 根据所述正常像素点和所述异常像素点区分正常边缘和异常边缘，并统计异常边缘个数； 正常边缘的正常像素点满足位置条件和连续性条件，异常边缘的异常像素点不满足所述位置条件或所述连续性条件； 所述位置条件表示为： ； 其中，表示边缘像素点的坐标中值，表示偏移量，表示第个边缘像素点沿边缘图像上下边界的坐标值； 所述连续性条件表示为： ； 其中，表示相邻的第个边缘像素点和第个边缘像素点之间的距离，所有边缘像素点之间的总距离，表示预设的比例阈值。

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