湘潭宏大真空技术股份有限公司;湖北维宏真空科技有限公司左莉获国家专利权
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龙图腾网获悉湘潭宏大真空技术股份有限公司;湖北维宏真空科技有限公司申请的专利真空镀膜机用工件载架及真空镀膜机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120555977B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511075384.8，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权真空镀膜机用工件载架及真空镀膜机是由左莉;孙桂红;祝海生;黄乐;力家东;刘柏桢;唐莲;王伟;刘敏;蔡镇洲;晏海燕设计研发完成，并于2025-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空镀膜机用工件载架及真空镀膜机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种真空镀膜机用工件载架及真空镀膜机，工件载架包括公转轴和转动安装在公转轴上的公转架，公转架上安装有多根用于连接安装工件的自转轴，自转轴以能摆动的方式安装在公转架上，各自转轴与公转轴之间设有在公转架转动时驱使自转轴同步转动的转动联动组件以及在公转架转动时驱使自转轴同步往复摆动的摆动联动组件；多根自转轴分为多组环绕公转轴间隔布置的轴组，每组轴组包括多根沿公转架轴向依次间隔布置的自转轴。真空镀膜机设有该工件载架。本发明具有可提升复杂工件镀膜均匀性和质量，适应多样化先进工艺需求等优点。
本发明授权真空镀膜机用工件载架及真空镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜机用工件载架，包括公转轴1和转动安装在所述公转轴1上的公转架2，其特征在于：所述公转架2上安装有多根用于连接安装工件的自转轴3，所述自转轴3以能摆动的方式安装在公转架2上，各自转轴3与公转轴1之间设有在公转架2转动时驱使自转轴3同步转动的转动联动组件4以及在公转架2转动时驱使自转轴3同步往复摆动的摆动联动组件5；多根自转轴3分为多组环绕公转轴1间隔布置的轴组，每组轴组包括多根沿公转架2轴向依次间隔布置的自转轴3； 所述公转架2上安装有沿公转轴1轴向往复直线运动的一根以上连接梁6，各自转轴3套设安装有转动套31，所述自转轴3的转动套31通过第一摆动轴32铰接安装在连接梁6上。
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