湘潭宏大真空技术股份有限公司;湖北维宏真空科技有限公司祝海生获国家专利权
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龙图腾网获悉湘潭宏大真空技术股份有限公司;湖北维宏真空科技有限公司申请的专利用于真空镀膜机的工件载架及真空镀膜机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120555978B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511075385.2，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权用于真空镀膜机的工件载架及真空镀膜机是由祝海生;孙桂红;刘柏桢;黄乐;左莉;力家东;谭雨豪;王伟;刘敏;蔡镇洲;晏海燕设计研发完成，并于2025-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于真空镀膜机的工件载架及真空镀膜机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于真空镀膜机的工件载架及真空镀膜机，工件载架包括公转轴和转动安装在公转轴上的公转架，公转架上安装有多根用于连接安装工件的自转轴，自转轴的轴线沿公转架径向方向延伸，各自转轴与公转轴之间设有在公转架转动时驱使自转轴同步转动的联动机构。真空镀膜机设有该用于真空镀膜机的工件载架。本发明具有可提升复杂工件镀膜均匀性和质量，适应多样化先进工艺需求的优点。
本发明授权用于真空镀膜机的工件载架及真空镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种用于真空镀膜机的工件载架，包括公转轴1和转动安装在所述公转轴1上的公转架2，其特征在于：所述公转架2上安装有多根用于连接安装工件的自转轴3，所述自转轴3的轴线沿公转架2径向方向延伸，各自转轴3与公转轴1之间设有在公转架2转动时驱使自转轴3同步转动的联动机构4； 所述自转轴3与联动机构4之间设有在自转轴3卡死时断开自转轴3与联动机构4之间的传动的防卡死装置5； 所述防卡死装置5为在传动扭矩超过设定扭矩值时断开传动的摩擦传动装置；所述摩擦传动装置包括第一摩擦盘51、第二摩擦盘52和与联动机构4连接的传动轴41，所述第一摩擦盘51与自转轴3连接，所述第二摩擦盘52与传动轴41连接，所述第一摩擦盘51和第二摩擦盘52的轴向端面相互压紧接触进行摩擦传动，所述摩擦传动装置还包括用于调节第一摩擦盘51和第二摩擦盘52之间压紧力的第一调节组件53。
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