杭州清芯微电子有限公司许一力获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州清芯微电子有限公司申请的专利一种用于功率MOSFET的具有集成散热的半导体器件及制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120568811B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511054785.5,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权一种用于功率MOSFET的具有集成散热的半导体器件及制造方法是由许一力;李鑫;杨琦设计研发完成,并于2025-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于功率MOSFET的具有集成散热的半导体器件及制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种用于功率MOSFET的具有集成散热的半导体器件,所述的半导体器件由若干个相互并列的MOS元胞组成;单个所述MOS元胞包括漏极、半导体外延层、源极以及栅极,所述半导体外延层包括N衬底层、N漂移层、P+层、N阱层和P阱层,所述栅极的截面轮廓呈“H”形状,该栅极包括两个纵向部分和用于桥接两个纵向部分的横向部分。本发明由“H”形栅极结构通过横向部分桥接双纵向沟槽,增大沟道宽度,降低导通电阻;结合底部掺杂层内的金属沉积层及重掺杂N+层,进一步优化电流路径;并且金属层并联导电降低电阻,重掺杂N+层抑制JFET效应使电阻再降10%以上。
本发明授权一种用于功率MOSFET的具有集成散热的半导体器件及制造方法在权利要求书中公布了:1.一种用于功率MOSFET的具有集成散热的半导体器件,所述的半导体器件由若干个相互并列的MOS元胞组成;单个所述MOS元胞从下向上依次包括漏极1、半导体外延层、栅极4以及源极2,其中栅极4的表面覆盖有栅氧化层;所述半导体外延层从下向上依次包括N衬底层5、N漂移层6、P阱层9和N阱层8,单个所述MOS元胞中且位于P阱层9、N阱层8的两侧设有P+层7,该P+层7的上下两端分别与源极2、N漂移层6接触,其特征在于:所述栅极4的截面轮廓呈“H”形状,该栅极4包括两个纵向部分和用于桥接两个纵向部分的横向部分; 所述栅极4的两个纵向部分之间设有集成金属层3,该集成金属层3的顶端与源极2直接接触。
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