湘潭宏大真空技术股份有限公司;湖北维宏真空科技有限公司刘柏桢获国家专利权
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龙图腾网获悉湘潭宏大真空技术股份有限公司;湖北维宏真空科技有限公司申请的专利真空镀膜生产线的转运系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120575147B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511075391.8,技术领域涉及:C23C14/56;该发明授权真空镀膜生产线的转运系统是由刘柏桢;孙桂红;祝海生;黄乐;唐洪波;徐璐;唐莲;王伟;刘敏;蔡镇洲;晏海燕设计研发完成,并于2025-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空镀膜生产线的转运系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种真空镀膜生产线的转运系统,包括转运装置和环绕转运装置布置的多个工艺腔室,转运装置包括转动座、用于转运工件载架的多个转运机械手和用于驱动转动座转动运动的转动驱动组件,转动座转动安装设置且能通过转动带着转运机械手运动至任意工艺腔室的位置处,转运机械手通过位置调节组件以能绕转动座转动轴线调整位置的方式安装在转动座上。该真空镀膜生产线的转运系统具有结构简单、制造和维护成本低、控制难度低、工件载架转送稳定可靠、使用灵活等优点。
本发明授权真空镀膜生产线的转运系统在权利要求书中公布了:1.一种真空镀膜生产线的转运系统,其特征在于:包括转运装置和环绕所述转运装置布置的多个工艺腔室1,所述转运装置包括转动座2、用于转运工件载架100的多个转运机械手3和用于驱动转动座2转动运动的转动驱动组件4,所述转动座2转动安装设置且能通过转动带着转运机械手3运动至任意工艺腔室1的位置处,所述转运机械手3通过位置调节组件5以能绕转动座2转动轴线调整位置的方式安装在转动座2上; 所述位置调节组件5包括连接于转运机械手3上的移动座51和设于转动座2上的轨道52,所述移动座51通过引导机构安装在所述轨道52上并能沿所述轨道52运动,所述位置调节组件5还包括用于驱动移动座51沿轨道52运动调整位置的驱动机构。
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