苏州联讯仪器股份有限公司张恒获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州联讯仪器股份有限公司申请的专利一种旋转中心标定方法、位姿调整机构及晶圆测试装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120593625B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511098047.0，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种旋转中心标定方法、位姿调整机构及晶圆测试装置是由张恒;周立东;施志虎;陈伟伟设计研发完成，并于2025-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转中心标定方法、位姿调整机构及晶圆测试装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种旋转中心标定方法、位姿调整机构及晶圆测试装置，方法包括控制任一旋转轴沿相应的目标轴移动至少两次，任一旋转轴与相应的目标轴相互垂直；获取对应于旋转轴的任意一次移动后末端工具绕旋转轴旋转获得的对应于目标点的旋转轨迹；根据旋转轨迹半径，确定目标旋转中心相较初始旋转中心在目标轴方向的目标偏移量；基于所有旋转轴的所有目标偏移量，标定多轴运动机构的目标旋转中心，以使目标点与目标旋转中心重合。本发明通过针对各个偏移量单独标定，将三维空间量降维到二维平面后再进行标定，能够简化标定模型，并且标定过程中通过调整旋转轴在目标轴上位置从而获取多组旋转轨迹数据，利用逼近拟合得到准确的标定结果。
本发明授权一种旋转中心标定方法、位姿调整机构及晶圆测试装置在权利要求书中公布了：1.一种旋转中心标定方法，其特征在于，应用于多轴运动机构，所述多轴运动机构具有初始旋转中心，所述多轴运动机构连接有末端工具，所述末端工具设有目标点；所述方法包括： 控制所述多轴运动机构的任一旋转轴沿相应的目标轴移动至少两次，任一所述旋转轴与相应的所述目标轴相互垂直； 获取对应于所述旋转轴的任意一次移动后所述末端工具绕所述旋转轴旋转获得的对应于所述目标点的旋转轨迹； 基于所述旋转轨迹的离散程度值确定所述旋转轨迹半径与所述旋转轴在所述目标轴上位置之间的对应关系； 将所述旋转轨迹半径最小时的所述旋转轴在所述目标轴上位置，确定为对应于所述目标点的目标旋转中心相较所述多轴运动机构的初始旋转中心在所述目标轴方向的目标偏移量； 基于对应于所述多轴运动机构的所有旋转轴的所有目标偏移量，标定所述多轴运动机构的目标旋转中心，以使所述目标点与所述目标旋转中心重合。
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