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龙图腾网获悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利压力调控方法、装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120595880B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511094064.7，技术领域涉及：G05D16/20；该发明授权压力调控方法、装置及半导体工艺设备是由候志强;贺忻;王保;王慧锋;徐钧设计研发完成，并于2025-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本压力调控方法、装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种压力调控方法、装置及半导体工艺设备，涉及半导体制造技术领域，包括：根据预设频率，获取目标腔体的实际压力值；将每个实际压力值与预设目标压力值进行比较；若实际压力值等于预设目标压力值，保持流量控制器的当前开度调节量不变；若实际压力值不等于预设目标压力值，执行以下步骤：根据实际压力值与预设目标压力值，计算实际压力值与预设目标压力值之间的偏差值；根据偏差值，确定流量控制器的开度调节量；基于开度调节量，调整实际压力值达到预设目标压力值。本发明的压力调控方法、装置及半导体工艺设备，能够自动、精确地调节目标腔体的实际压力值，无需人工手动调节，提高了控制精度和效率。

本发明授权压力调控方法、装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种压力调控方法，其特征在于，包括： 根据预设频率，获取目标腔体的实际压力值； 将每个所述实际压力值与预设目标压力值进行比较；若所述实际压力值等于所述预设目标压力值，保持流量控制器的当前开度调节量不变；若所述实际压力值不等于所述预设目标压力值，执行以下步骤： 根据所述实际压力值与所述预设目标压力值，计算所述实际压力值与所述预设目标压力值之间的偏差值； 根据所述偏差值，确定所述流量控制器的开度调节量； 基于所述开度调节量，调整所述实际压力值达到所述预设目标压力值， 所述根据所述偏差值，确定所述流量控制器的开度调节量，包括： 将所述偏差值与预设阀门切换阈值进行比较； 若所述偏差值大于所述预设阀门切换阈值，控制快慢抽气阀门组进入全开状态，且保持所述流量控制器的当前开度调节量不变； 若所述偏差值小于所述预设阀门切换阈值，根据所述偏差值，分析计算所述流量控制器的开度调节量； 所述方法还包括： 更新所述预设目标压力值，得到更新后的预设目标压力值； 计算所述实际压力值与所述更新后的预设目标压力值的偏差值或者更新前的预设目标压力值与更新后的预设目标压力值的压力差值； 判断所述偏差值或者所述压力差值是否大于预设临界阈值； 若所述偏差值或者所述压力差值大于所述预设临界阈值，执行目标腔体的切换，其中，所述预设临界阈值大于所述预设阀门切换阈值。

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