杭州富芯半导体有限公司张智中获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利抽真空管路获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223562992U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422762451.0，技术领域涉及：F04B37/14；该实用新型抽真空管路是由张智中设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本抽真空管路在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种抽真空管路，涉及半导体制造技术领域，该抽真空管路中，工作腔通过主管路与第一真空泵连接，在主管路上设置有第一阀门，该第一阀门用于控制主管路的抽真空流量，第一支路管连接第一阀门两侧的主管路。在进行抽真空时，第一阀门关闭，第二真空泵通过第一支路管对工作腔进行预抽真空，以达到开启第一真空泵的真空度，然后打开第一阀门，即打开主管路，通过第一真空泵对工作腔进行抽真空。由于第一真空泵的抽速大于第二真空泵的抽速，并且主管路的截面面积大于第一支路管的截面面积，抽真空的速度明显提升。又由于第一阀门可以控制流量，所以可以保证抽真空时工作腔内的稳定性。
本实用新型抽真空管路在权利要求书中公布了：1.一种抽真空管路，其特征在于，包括： 工作腔、主管路、第一阀门、第一支路管、第一真空泵以及第二真空泵； 所述主管路的第一端与所述工作腔连接，所述主管路的第二端与所述第一真空泵连接；所述第一真空泵用于对所述工作腔进行抽真空； 所述第一阀门位于所述主管路上，用于控制所述主管路的抽真空流量； 所述第一支路管连接所述第一阀门的两侧的所述主管路； 所述第二真空泵用于通过所述第一支路管对所述工作腔进行预抽真空，以启动所述第一真空泵； 其中，所述第一真空泵的抽速大于所述第二真空泵的抽速，所述主管路的截面面积大于所述第一支路管的截面面积。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州富芯半导体有限公司，其通讯地址为：311418 浙江省杭州市富阳区灵桥镇滨富大道135号(滨富合作区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励