晶科慧能技术服务有限公司张亮获国家专利权
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龙图腾网获悉晶科慧能技术服务有限公司申请的专利一种硅片生产用节能供气系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223564013U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520110510.8,技术领域涉及:F17D1/065;该实用新型一种硅片生产用节能供气系统是由张亮;徐臣;黄宝显;兰奕凡设计研发完成,并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片生产用节能供气系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种硅片生产用节能供气系统,包括:第一气路、第二气路、第三气路和第四气路;所述第一气路的一端与磁悬浮制气设备气源连通,另一端与生产区储气罐相互联通;所述第一气路用于为生产区内用气终端提供直接使用的低压气源和间接使用的高压气源,并给第二气路、第三气路和第四气路提供气源;所述第二气路的一端、所述第三气路的一端、第四气路的一端分别与生产区储气罐连通,另一端则还分别与生产区内用气终端相互连通;其优点表现在:本实用新型通过在气路系统中设置高压气路、中压气路和低压气路,能够满足设备对多种气压气体的需求,提高了气路系统的多样化适用性,避免气路系统气体浪费,节约用于供气系统的能源成本。
本实用新型一种硅片生产用节能供气系统在权利要求书中公布了:1.一种硅片生产用节能供气系统,其特征在于,所述供气系统包括: 第一气路,所述第一气路的一端与磁悬浮制气设备气源连通,另一端与生产区储气罐相互联通;所述第一气路用于为生产区内用气终端提供直接使用的低压气源和间接使用的高压气源,并给第二气路、第三气路和第四气路提供气源; 第二气路,所述第二气路的一端与生产区储气罐连通,另一端与生产区内用气终端的低压用气部件连通,所述第二气路用于为用气终端的低压用气部件提供低压气; 第三气路,所述第三气路的一端与生产区储气罐连通,另一端与生产区内用气终端的中压用气部件连通,所述第三气路用于为用气终端的中压用气部件提供中压气; 第四气路,所述第四气路的一端与生产区储气罐连通,另一端与用气终端的高压用气部件连通,第四气路用于为用气终端的高压用气部件提供高压气源。
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