无锡贝伦思科技有限公司顾志刚获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡贝伦思科技有限公司申请的专利一种纯水流量监控装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223565054U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422241236.6，技术领域涉及：G01F1/667；该实用新型一种纯水流量监控装置是由顾志刚;陆铭设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种纯水流量监控装置在说明书摘要公布了：本申请涉及流量控制技术的领域，尤其涉及一种纯水流量监控装置，其包括冲洗管道、流量传感器和监控设备端，所述冲洗管道上连接有箍环，所述箍环沿冲洗管道的周向设置，所述箍环上连接有安装座，所述流量传感器转动卡设于安装座上，所述流量传感器电性连接于监控设备端，所述安装座内还设有密封组件，所述流量传感器为超声波流量传感器。本申请具有改善纯水流量过大或过小均会影响到晶圆表面洁净度的问题的作用。
本实用新型一种纯水流量监控装置在权利要求书中公布了：1.一种纯水流量监控装置，其特征在于：包括冲洗管道1、流量传感器2和监控设备端3，所述冲洗管道1上连接有箍环11，所述箍环11沿冲洗管道1的周向设置，所述箍环11上连接有安装座4，所述流量传感器2转动卡设于安装座4上，所述流量传感器2电性连接于监控设备端3，所述安装座4内还设有密封组件5，所述流量传感器2为超声波流量传感器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡贝伦思科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区中关村科技创新园92号J1-2栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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