中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司查泽奇获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利射频检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223565788U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422953963.5，技术领域涉及：G01R27/06；该实用新型射频检测装置是由查泽奇;张林凯;王振辉;王亚设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本射频检测装置在说明书摘要公布了：一种射频检测装置，用于在谐振器安装至离子注入机内之前，检测谐振器的共振频率以及驻波比，包括：检测腔体，检测腔体与谐振器可拆卸连接，且在检测腔体与谐振器连接后，部分谐振器位于检测腔体内；检测装置，位于检测腔体内；测量装置，与谐振器电连接。射频检测装置设置在离子注入机之外，通过检测装置模拟离子注入机内的环境，实现在谐振器安装至离子注入机内之前，检测谐振器的共振频率以及驻波比。在空间相对宽敞的射频检测装置内进行谐振器共振频率和驻波比的调节，提高了离子注入机的维修效率并避免了反复安装导致谐振器的密封陶瓷件的损坏，降低了高能离子注入机的维修成本。
本实用新型射频检测装置在权利要求书中公布了：1.一种射频检测装置，用于在谐振器安装至离子注入机内之前，检测所述谐振器的共振频率以及驻波比，其特征在于，包括： 检测腔体，所述检测腔体与所述谐振器可拆卸连接，且在所述检测腔体与所述谐振器连接后，部分所述谐振器位于所述检测腔体内； 检测装置，位于所述检测腔体内； 测量装置，与所述谐振器电连接。
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