源卓微纳科技(苏州)股份有限公司胥涛棚获国家专利权
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龙图腾网获悉源卓微纳科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种纠偏机构、曝光机构和曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566025U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421587716.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种纠偏机构、曝光机构和曝光设备是由胥涛棚;蔡志兵;马运军;张雷设计研发完成，并于2024-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种纠偏机构、曝光机构和曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种纠偏机构、曝光机构和曝光设备，所述纠偏机构包括安装底板、驱动调节机构和调节板，驱动调节机构安装于安装底板，调节板与驱动调节机构相连，纠偏机构竖直设置，驱动调节机构包括至少三个驱动装置，驱动装置分别设置于安装底板的相邻两边，包括带动调节板在竖直方向移动的第一驱动装置，以及带动所述调节板沿水平方向移动的第二驱动装置，至少第二驱动装置包括驱动源、交叉移动机构和辅助移动机构，所述交叉移动机构和辅助移动机构位于所述驱动源的两侧。纠偏机构通过三个驱动装置实现掩膜板在竖直方向和水平方向确定平面的移动和旋转，通过所述交叉移动机构和辅助移动机构的设置，保证纠偏机构的精度。
本实用新型一种纠偏机构、曝光机构和曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种纠偏机构，其包括安装底板、驱动调节机构和调节板，所述驱动调节机构安装于所述安装底板，所述调节板与所述驱动调节机构相连，其特征在于：所述纠偏机构竖直设置，所述驱动调节机构包括至少三个驱动装置，所述驱动装置分别设置于所述安装底板的相邻两边，包括带动调节板在竖直方向移动的第一驱动装置，以及带动所述调节板沿垂直于竖直方向的水平方向移动的第二驱动装置，至少所述第二驱动装置包括驱动源、交叉移动机构和辅助移动机构，所述交叉移动机构和辅助移动机构位于所述驱动源的两侧，所述驱动源带动所述交叉移动机构和所述辅助移动机构移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人源卓微纳科技(苏州)股份有限公司，其通讯地址为：215026 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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