源卓微纳科技(苏州)股份有限公司张琦获国家专利权
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龙图腾网获悉源卓微纳科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种具有气浴装置的光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566029U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423178775.6，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种具有气浴装置的光刻设备是由张琦;李志;胡嘉鑫;史月林;庄亚政;李波;李凌瞳;张雷设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有气浴装置的光刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种具有气浴装置的光刻设备，光刻设备包括多个曝光镜头，以及安装于曝光镜头一侧的气浴装置，气浴装置包括内部形成气浴腔的壳体，壳体一端设置有与气浴腔连通的进气口，多组出气通道间隔设置于所述壳体一侧或相对两侧，每组出气通道包括多个独立的出气口，气浴腔内的气体通过所述出气口向斜下方喷出，每组出气通道喷出的气浴气流有效覆盖对应曝光镜头的曝光区域，及时带走曝光区热量，达到较好的温控效果，避免温度影响光刻设备的精度。另外，在能量板移动到曝光镜头下侧进行曝光镜头视场中心检测时，多组出气通道喷出的气浴气流有效覆盖能量板区域，控制能量板温漂，保证能量板的测量精度。
本实用新型一种具有气浴装置的光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种具有气浴装置的光刻设备，所述光刻设备设置有多个曝光镜头，其特征在于，还包括安装于所述曝光镜头一侧的气浴装置，所述气浴装置包括： 壳体，内部形成气浴腔，一端设置有与所述气浴腔连通的进气口； 多组出气通道，间隔设置于所述壳体至少一侧，每组出气通道包括多个独立的出气口，所述出气口低于所述曝光镜头的出光面，所述气浴腔内的气体通过所述出气口向斜下方喷出。
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