无锡影速半导体科技有限公司欧旭锋获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡影速半导体科技有限公司申请的专利一种用于EUV光源光能引导及监控的光学系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566030U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423187671.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种用于EUV光源光能引导及监控的光学系统是由欧旭锋;刘学设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于EUV光源光能引导及监控的光学系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于EUV光源光能引导及监控的光学系统，属于EUV光刻工艺技术领域。本实用新型通过在光源后构建由多组不同的反射镜构成的光学系统，该光学系统包括直角棱镜反射镜组、抛物面反射镜等多种结构的反射镜组件，采用全反射系统，避免了透射过程中，EUV被吸收的情况，使得EUV光路能够分光，实现光能实时检测和光能引导后曝光的效果，且检测结果准确，对出光能量进行了精确监控。
本实用新型一种用于EUV光源光能引导及监控的光学系统在权利要求书中公布了：1.一种用于EUV光源光能引导及监控的光学系统，其特征在于，包括： 光源，用于发射极紫外光形成第一光路； 第一抛物面反射镜，设置于光源的一侧且所述光源出射光中心与所述第一抛物面反射镜的焦点重合；第一光路经第一抛物面反射镜后能够反射形成第二光路； 直角棱镜反射镜组，设置于第一抛物面反射镜一侧且位于第二光路上，所述直角棱镜反射镜组包括第一直角棱镜模块和第二直角棱镜模块，所述第二光路经所述第一直角棱镜模块和所述第二直角棱镜模块分别反射形成第三光路及第四光路； 检测器，设置于第三光路上，用于接收所述第三光路的光并检测光源发出光的能量； 匀光系统，设置于第四光路上，用于接收所述第四光路的光匀光后出射。
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