上海琮光半导体科技有限公司蒋平获国家专利权
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龙图腾网获悉上海琮光半导体科技有限公司申请的专利一种半导体套刻精度量测中长寿命快门结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566031U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423288038.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种半导体套刻精度量测中长寿命快门结构是由蒋平;陈新宏设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体套刻精度量测中长寿命快门结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体套刻精度量测中长寿命快门结构，包括：快门挡片、小型气浮平台、音圈电机、磁栅尺模块以及接近式光电开关，所述快门挡片的右端连接所述小型气浮平台的内部滑块的左端，所述小型气浮平台的内部滑块的右端固定连接一个连接板的左侧，所述小型气浮平台上固定一个进气管，所述连接板的右侧面固定连接所述音圈电机的转子，所述连接板所述音圈电机的下方设置所述磁栅尺模块，所述磁栅尺模块位于所述连接板的右侧，所述磁栅尺模块的外侧设置所述接近式光电开关。该半导体套刻精度量测中长寿命快门结构，结构简单，无摩擦无噪声，为快门机构的长寿命使用提供必要且足够的保障和保证。
本实用新型一种半导体套刻精度量测中长寿命快门结构在权利要求书中公布了：1.一种半导体套刻精度量测中长寿命快门结构，包括：快门挡片1、小型气浮平台2、音圈电机6、磁栅尺模块7以及接近式光电开关8，其特征在于：所述快门挡片1的右端连接所述小型气浮平台2的内部滑块3的左端，所述小型气浮平台2的内部滑块3的右端固定连接一个连接板5的左侧，所述小型气浮平台2上固定一个进气管4，所述连接板5的右侧面固定连接所述音圈电机6的转子，所述连接板5所述音圈电机6的下方设置所述磁栅尺模块7，所述磁栅尺模块7位于所述连接板5的右侧，所述磁栅尺模块7的外侧设置所述接近式光电开关8。
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