宁波荣宝雨半导体有限公司黄新生获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波荣宝雨半导体有限公司申请的专利一种干膜去膜的超声处理设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223566584U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422903727.2,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种干膜去膜的超声处理设备是由黄新生设计研发完成,并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种干膜去膜的超声处理设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种干膜去膜的超声处理设备,包括超声处理槽、升降架和封口结构,所述超声处理槽内设有处理液,所述升降架为管道型结构,且所述升降架的内壁均匀地设置有若干通孔,所述封口结构设置于所述升降架的两侧开口处,所述封口结构的整体密度小于所述处理液的密度,所述升降架浸入所述处理液时,所述封口结构漂浮以使所述升降架两端闭合形成封闭腔室。本申请通过设置的封口结构,可以让升降架自动开启或关闭其两端,从而在超声时自动封闭以防落料,离开处理液时自动打开,方便出料。
本实用新型一种干膜去膜的超声处理设备在权利要求书中公布了:1.一种干膜去膜的超声处理设备,其特征在于,包括超声处理槽、升降架和封口结构,所述超声处理槽内设有处理液,所述升降架为管道型结构,且所述升降架的内壁均匀地设置有若干通孔,所述封口结构设置于所述升降架的两侧开口处,所述封口结构的整体密度小于所述处理液的密度,所述升降架浸入所述处理液时,所述封口结构漂浮以使所述升降架两端闭合形成封闭腔室。
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