联测优特半导体(上海)有限公司付江平获国家专利权
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龙图腾网获悉联测优特半导体(上海)有限公司申请的专利加热平台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223566587U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423047146.X,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型加热平台是由付江平;黎智林设计研发完成,并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热平台在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种加热平台,包括加热座体,加热座体呈矩形,加热座体由依次连接的第一区域、第二区域以及第三区域组成,第一区域与第三区域的尺寸相同且第一区域与第三区域的尺寸均大于第二区域的尺寸;第一区域开设有均匀间隔布置的若干第一安装孔,第三区域开设有均匀间隔布置的若干第二安装孔,第二区域在长度方向上具有第一长度,相邻两第一安装孔的轴心之间的距离以及相邻两第二安装孔的轴心之间的距离相同且均为第二长度,第一长度与第二长度的比值为大于或等于2且小于或等于3,第一安装孔以及第二安装孔内均设有加热棒。本实用新型通过在加热平台的第一安装孔以及第二安装孔内均设置加热棒,有效保证了加热平台整体温度的均匀性。
本实用新型加热平台在权利要求书中公布了:1.一种加热平台,其特征在于,包括加热座体,所述加热座体呈矩形且具有长度方向以及宽度方向,所述加热座体由依次连接的第一区域、第二区域以及第三区域组成,所述第一区域、所述第二区域以及所述第三区域沿所述长度方向依次布置,所述第一区域与所述第三区域的尺寸相同且所述第一区域与所述第三区域的尺寸均大于所述第二区域的尺寸; 所述第一区域开设有均匀间隔布置的若干第一安装孔,所述第三区域开设有均匀间隔布置的若干第二安装孔,若干所述第一安装孔以及若干所述第二安装孔均在所述宽度方向贯通所述加热座体,所述第一安装孔与所述第二安装孔在所述长度方向上一一对称设置,第二区域在所述长度方向上具有第一长度,相邻两所述第一安装孔的轴心之间的距离以及相邻两所述第二安装孔的轴心之间的距离相同且均为第二长度,所述第一长度与所述第二长度的比值为大于或等于2且小于或等于3,所述第一安装孔以及所述第二安装孔内均设有加热棒。
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