香港科技大学(广州)徐巍获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种半导体花篮架及湿法设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566594U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202522070213.8，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种半导体花篮架及湿法设备是由徐巍;李艺杰设计研发完成，并于2025-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体花篮架及湿法设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体花篮架及湿法设备，涉及半导体加工技术领域，其中半导体花篮架包括主体结构以及限位组件；主体结构包括两个平行间隔设置的主体架；限位组件包括第一固定限位件、第二固定限位件以及活动限位件；第一固定限位件连接在主体架之间的底部位置；第二固定限位件连接在主体架之间的两侧端位置；两个主体架相向的内侧壁上均设有沿竖直方向设置的活动凹槽；活动限位件的两端分别伸入活动凹槽；两个主体架相向的内侧壁上还均设有连通凹槽；连通凹槽的一端连通活动凹槽，另一端延伸至主体架的侧端壁。上述改进消除了定位块对横向空间的占用，从而避免了工件在装载过程中可能发生的磕碰问题，同时保留了花篮架内部所有工位的可用性。
本实用新型一种半导体花篮架及湿法设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体花篮架，其特征在于，包括主体结构以及限位组件； 所述主体结构包括两个平行间隔设置的主体架1； 所述限位组件包括第一固定限位件2、第二固定限位件3以及活动限位件4； 所述第一固定限位件2连接在所述主体架1之间的底部位置； 所述第二固定限位件3连接在所述主体架1之间的两侧端位置； 两个所述主体架1相向的内侧壁上均设有沿竖直方向设置的活动凹槽5； 所述活动限位件4的两端分别伸入所述活动凹槽5，并在所述竖直方向上与所述活动凹槽5滑动配合； 两个所述主体架1相向的内侧壁上还均设有连通凹槽6； 所述连通凹槽6的一端连通所述活动凹槽5，另一端延伸至所述主体架1的侧端壁，以供所述活动限位件4的端部进出所述活动凹槽5； 所述限位组件与所述主体结构之间围成容纳工件8的容纳腔。
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