合肥晶合集成电路股份有限公司古立获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566601U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423151569.6，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种校准装置是由古立;赖正训;邵风展设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种校准装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种校准装置，以用于校准晶圆放置于加热器上的位置，加热器设置有承载晶圆的圆形凹槽，包括：盘体和至少四组测距组件，盘体用于供机械手抓取，其中两组测距组件分别设置于盘体的第一径向方向的两端，以分别用于检测第一径向方向上盘体的外边缘与圆形凹槽的侧壁之间的距离；另外两组测距组件分别设置于所述盘体的第二径向方向的两端，以分别用于检测所述第二径向方向上所述盘体的边缘与所述圆形凹槽的侧壁之间的距离；测距组件与控制系统电信号连接；其中，机械手在加热器上的落料位置处具有第一基准方向，第一径向方向和第二径向方向其中一者与第一基准方向重合。本实用新型可以改善机械手校准精度较低的技术问题。
本实用新型一种校准装置在权利要求书中公布了：1.一种校准装置，与机械手配合使用，以用于校准晶圆放置于加热器上的位置，所述加热器设置有承载所述晶圆的圆形凹槽，其特征在于，包括： 盘体，用于供所述机械手抓取，以将所述校准装置移动至所述圆形凹槽内，且所述盘体在所述圆形凹槽内的轴心位置与所述机械手在所述加热器上的落料轴心重合； 四组测距组件，其中两组所述测距组件分别设置于所述盘体的第一径向方向的两端，以分别用于检测所述第一径向方向上所述盘体的外边缘与所述圆形凹槽的侧壁之间的距离；另外两组所述测距组件分别设置于所述盘体的第二径向方向的两端，以分别用于检测所述第二径向方向上所述盘体的边缘与所述圆形凹槽的侧壁之间的距离；所述测距组件与所述机械手的控制系统电信号连接； 其中，所述机械手在所述加热器上的落料位置处具有第一基准方向，所述第一径向方向和所述第二径向方向其中一者与所述第一基准方向重合。
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