东京毅力科创株式会社牧准之辅获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基片处理装置和基片处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113433797B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110274735.3，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权基片处理装置和基片处理方法是由牧准之辅;寺本聪宽设计研发完成，并于2021-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片处理装置和基片处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供能够维持生产率并且检查传送带的状态的基片处理装置和基片处理方法。基片处理装置包括：对基片实施规定处理的处理单元；输送单元，其具有保持基片的保持部及包括传送带并且通过使该传送带移动来使保持部在第1方向上移位的驱动部；能够获取与因保持部的移位而产生的传送带的振动相应的振动信号的测量单元；和控制单元。控制单元包括：实施工艺处理的处理控制部，工艺处理包括用处理单元对包含基片的多个基片依次实施规定处理的第1处理及用输送单元进行对处理单元的多个基片各自的送入送出的第2处理；从测量单元获取振动信号的信号获取部；和基于振动信号来判断传送带的状态的状态判断部。信号获取部在执行工艺处理时获取振动信号。
本发明授权基片处理装置和基片处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基片处理装置，其特征在于，包括： 对基片实施规定的处理的处理单元； 输送单元，其具有：保持所述基片的保持部；和驱动部，其包括传送带并且通过使该传送带移动来使所述保持部在第1方向上移位； 测量单元，其以靠近所述传送带的状态设置，能够获取与因所述保持部的移位而产生的所述传送带的振动相应的振动信号，所述振动信号是由所述传送带的振动导致的空气振动的振动信号；以及 控制所述处理单元、所述输送单元和所述测量单元的控制单元， 所述控制单元包括： 执行工艺处理的处理控制部，所述工艺处理包括：第1处理，其通过所述处理单元对包含所述基片在内的多个基片依次实施所述规定的处理；和第2处理，其通过所述输送单元进行对所述处理单元的所述多个基片的每个基片的送入送出； 从所述测量单元获取所述振动信号的信号获取部；以及 基于所述振动信号判断所述传送带的状态的状态判断部， 所述信号获取部在所述工艺处理的执行期间中获取所述振动信号。
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