深圳中科飞测科技股份有限公司黄有为获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种检测设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115165758B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210752031.7，技术领域涉及：G01N21/21；该发明授权一种检测设备及方法是由黄有为;陈鲁;崔高增;王天民设计研发完成，并于2018-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测设备及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种检测设备及方法，该检测设备通过第一探测装置待测元件表面反射的第一回波光和第二回波光发生干涉后形成的信号光，得到待测元件上采样位置对应的信号光的第一光强分布信息，以进一步根据该强度分布得到信号光的相位分布，从而得到待测元件的缺陷分布数据。其中，第一探测装置包括两个以上偏振探测器，或者无偏振探测器和至少一个偏振探测器。本发明能够有效地实现信号光的偏振态分析，实现待测元件在纵向上的高精度检测，且可靠性好，稳定性高，检测速度快。
本发明授权一种检测设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种检测设备，其特征在于，包括： 第一探测装置，用于获取信号光的第一光强分布信息，所述第一探测装置包括两个以上探测器，所述两个以上探测器均为偏振探测器，且不同所述偏振探测器的偏振探测方向不同，或者，所述两个以上探测器包括无偏振探测器和至少一个偏振探测器； 各个所述探测器依次对待测元件表面进行扫描，使得所述待测元件表面同一检测区域对应的信号光，随着扫描时间的先后依次被每个探测器接收； 所述第一探测装置包括第一探测区，所述第一探测区用于对所述待测元件表面进行扫描；所述第一探测区包括多个第一探测单元区，所述多个第一探测单元区的排列方向与所述第一探测区在所述待测元件表面的扫描方向不垂直，各个所述探测器用于分别探测不同所述第一探测单元区对应的待测表面反射回的信号光。
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