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龙图腾网获悉先导薄膜材料(安徽)有限公司申请的专利一种MoNb合金靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119549714B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411811628.X，技术领域涉及：B22F3/15；该发明授权一种MoNb合金靶材及其制备方法是由王小兰;高建成;马国成;童培云设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MoNb合金靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MoNb合金靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。包括以下步骤：将Mo粉和Nb粉在惰性气氛中混粉，得到MoNb混合粉末；置于真空条件下，预烧得到MoNb预烧合金粉末；将MoNb预烧合金粉末按照包套装配进行包套，脱气后放入热等静压烧结炉中，进行梯度升温至1250‑1400℃，升温的同时进行匀速升压至110‑160MPa，保温煅烧3‑5h后，随炉降温回收压力，得到MoNb合金靶坯；对MoNb合金靶坯进行磨床加工后得到尺寸合格的MoNb合金靶材。本发明制备得到的MoNb合金靶材致密度高，不易开裂，纯度高，且晶粒组织均匀细小、导电性能良好，溅射性能优良。

本发明授权一种MoNb合金靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MoNb合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1、将Mo粉和Nb粉按照60-90%：10-40%的比例加入双运动粉体混合设备中，在惰性气氛中混粉，得到MoNb混合粉末； 步骤2、将MoNb混合粉末填装入模具中，于真空条件下，从室温升温加热至600-800℃，保温煅烧1-2h后以降温至常温，得到MoNb预烧合金粉末； 步骤3、将MoNb预烧合金粉末按照包套装配进行包套，包套后进行脱气处理，得到脱气完成的包套； 步骤4、将脱气完成的包套放入热等静压烧结炉中，进行梯度升温至等静压烧结烧结温度1250-1400℃，升温的同时以0.8-1.2MPamin的速率进行匀速升压至热等静压烧结压力110-160MPa，保温煅烧3-5h后，随炉降温回收压力，得到MoNb合金靶坯； 步骤5、对MoNb合金靶坯进行磨床加工后得到尺寸合格的靶材，进行相关缺陷、密度测试，无异常后真空打包； 步骤4中，梯度升温至等静压烧结具体为：抽真空至＜1000Pa后，第一次升温至500-700℃，再于惰性气氛下，第二次升温至热等静压烧结温度1250-1400℃； 第一次升温速率为2-4℃min；第二次升温速率为6-10℃min。

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