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龙图腾网获悉浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119565983B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510000548.4，技术领域涉及：B08B3/04；该发明授权一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置及其使用方法是由何朝阳;肖尚青;高瑾;张成满;吴蔡根设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置及其使用方法，包括：沿水平方向依次由上至下设置的三个储物隔板、分别位于储物隔板两侧的两个垂直支撑板以及位于储物隔板、垂直支撑板后方的固定板，每个所述储物隔板的两侧与垂直支撑板一体成型设置，每个所述储物隔板的后端以及垂直支撑板的后端与固定板一体成型设置，所述储物隔板、垂直支撑板及固定板上均设置有多个均匀分布的孔洞，通过三个储物隔板上的孔洞设有沿水平方向固定待清洗的升降轴、下圆顶及上圆顶石英部件的定位组件，储物隔板、垂直支撑板及固定板上设置的多个均匀分布的孔洞，不仅减轻了装置的重量，还在湿洗过程中极大地促进了清洗槽中的化学清洗液流通，提高清洗效率。

本发明授权一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置，包括：沿水平方向依次由上至下设置的三个储物隔板10、分别位于储物隔板10两侧的两个垂直支撑板11以及位于储物隔板10、垂直支撑板11后方的固定板12，每个所述储物隔板10的两侧与垂直支撑板11一体成型设置，每个所述储物隔板10的后端以及垂直支撑板11的后端与固定板12一体成型设置，其特征是： 所述储物隔板10、垂直支撑板11及固定板12上均设置有多个均匀分布的孔洞13，通过三个储物隔板10上的孔洞13设有沿水平方向固定待清洗的升降轴4、下圆顶5及上圆顶6石英部件的定位组件，定位组件包括：设置在上层储物隔板10上的定位孔104和第一定位件20、安装在中间层储物隔板10上的第二定位件21以及位于第二定位件21下方且设置在底层储物隔板10上的第三定位件22；第一定位件20与升降轴4的左、右两端抵靠，且升降轴4一倾斜的支撑脚40伸入至定位孔104中，下圆顶5的管部50伸入至且上层储物隔板10内，且下圆顶5的盘状部51位于第二定位件21中并与之抵靠，上圆顶6放置于底层储物隔板10上，其外壁与第三定位件22抵靠； 所述定位组件还包括可拆式连接在孔洞13上的限位组件，分别用于将升降轴4、下圆顶5和上圆顶6沿垂直方向固定在对应的储物隔板10上，限位组件包括： 第一限位件30，用于将升降轴4卡接在上层储物隔板10上，第一限位件30的中间部位设有与升降轴4轴部41匹配的弧形部300，第一限位件30的两端具有第一连接部301，且两端第一连接部301别伸入升降轴4轴部41前、后两侧的孔洞13并连接； 第二限位件31，用于将下圆顶5卡接在中间层储物隔板10上，第二限位件31具有一个第二抵顶部302和一个第二连接部303，二者相连呈“7”型结构，第二连接部303伸入中间层储物隔板10上位于下圆顶5盘状部51周围的孔洞13内，第二抵顶部302与下圆顶5盘状部51的周缘处抵顶； 第三限位件32，用于将上圆顶6卡接在下层储物隔板10上，第三限位件32具有一个第三抵顶部304和一个第三连接部305，二者相连呈“7”型结构，第三连接部305伸入下层储物隔板10上位于上圆顶6周围的孔洞13内，第三抵顶部304与上圆顶6的周缘处抵顶。

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