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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种使用柔性铰链的片爪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119620549B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311175570.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种使用柔性铰链的片爪是由王妍智设计研发完成，并于2023-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种使用柔性铰链的片爪在说明书摘要公布了：本发明提供一种使用柔性铰链的片爪，涉及硅片输送装置的技术领域。该片爪，包括驱动组件和吸附组件，驱动组件包括底座和驱动件，驱动件用于驱动吸附组件升降，驱动件包括固定部和活动部，固定部与底座固定连接，活动部与吸附组件固定连接；片爪还包括多个固定座，多个固定座绕活动部的轴线均匀设置，且各固定座与活动部之间均连接有柔性铰链；柔性铰链包括至少一个支链，支链包括至少一个柔性片，柔性片垂直于吸附组件的升降方向延伸设置。该片爪能够实现直线轴承的导向效果，且不使用润滑剂，能够避免高真空和超高真空环境下油脂挥发产生颗粒污染环境和硅片的情况发生，也不存在气体泄漏的问题。

本发明授权一种使用柔性铰链的片爪在权利要求书中公布了：1.一种使用柔性铰链的片爪，其特征在于，所述片爪包括驱动组件和吸附组件，所述驱动组件包括底座110和驱动件，所述驱动件用于驱动所述吸附组件升降，所述驱动件包括固定部和活动部，所述固定部与所述底座110固定连接，所述活动部与所述吸附组件固定连接； 所述片爪还包括多个固定座200，多个所述固定座200绕所述活动部的轴线均匀设置，且各所述固定座200与所述活动部之间均连接有所述柔性铰链；所述柔性铰链包括至少一个支链，所述支链包括至少一个柔性片311，所述柔性片311垂直于所述吸附组件的升降方向延伸设置； 所述驱动组件还包括驱动架120，所述驱动架120与所述活动部固定连接； 所述吸附组件包括支撑臂和静电卡盘430，所述支撑臂固定设置于所述驱动架120； 所述支撑臂包括支撑横臂410和支撑立臂420，所述支撑横臂410固定连接于所述驱动架120且沿径向向外延伸设置，所述支撑立臂420固定设置于所述支撑横臂410远离所述驱动架120的一端且向上延伸设置； 使用时，所述底座110与所述固定座200的位置相对固定。

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