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龙图腾网获悉深圳市普佳光电有限公司申请的专利一种掩膜清洗液组合物及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119689802B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510000398.7，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权一种掩膜清洗液组合物及其制备方法是由林仕松;叶嘉杰;林源设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掩膜清洗液组合物及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及清洗液技术领域，具体涉及一种掩膜清洗液组合物及其制备方法。所述掩膜清洗液组合物，其特征在于，由以下质量百分数原料组成：7‑13wt%无机碱、1‑4wt%有机碱、2‑5wt%氧化剂、0.2‑0.8wt%羟乙基磺酸、3‑7wt%表面活性剂、1‑4wt%缓蚀剂、3‑8wt%清洗助剂、余量为水；所述清洗助剂为改性磁性多孔碳材料。本发明采用上述改性磁性多孔碳材料作为掩膜清洗液组合物的原料，不仅减少了螯合剂的使用量，同时不用吸附剂也能达到能耗的清洗效果，更加高效的去除光刻胶残留、金属离子和其他污染物，并且可以二次利用，提高了清洗效率，节约了成本。

本发明授权一种掩膜清洗液组合物及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种掩膜清洗液组合物，其特征在于，由以下质量百分数原料组成：7-13wt%无机碱、1-4wt%有机碱、2-5wt%氧化剂、0.2-0.8wt%羟乙基磺酸、3-7wt%表面活性剂、1-4wt%缓蚀剂、3-8wt%清洗助剂、余量为水；所述清洗助剂为改性磁性多孔碳材料；所述改性磁性多孔碳材料的制备方法如下： S1将Fe2SO43·9H2O‌、乙酸钠和乙二醇混合搅拌，水热反应，得到纳米四氧化三铁；再加入多孔碳材料和无水乙醇超声，得到磁性多孔碳材料； S2将N-[β-N,N-二乙酸基氨乙基]-γ-N-乙酸基氨丙基三甲氧基硅烷、对氨基苯基三甲氧基硅烷、甲醇和四氢呋喃混合均匀，加热搅拌，减压蒸馏，得到超支化聚硅氧烷；向得到的超支化聚硅氧烷加入乙醇水溶液搅拌均匀，升温，加入戊二醛和份硼氢化钠搅拌，降温，加入二硫化碳，继续搅拌，得到螯合剂； S3将上述磁性多孔碳材料、上述螯合剂和乙醇水溶液混合，在热水中搅拌浸泡，过滤，洗涤，干燥，得到改性磁性多孔碳材料。

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